宏微双驱动高精度二维运动平台实现

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1、浙江大学硕士学位论文摘要大行程精密定位技术是生物医学工程、微机电系统、精密光学工程和超精密加工等领域迅速发展的前提条件，它决定了研究对象的尺寸可以细微化到微米级甚至是纳米级，推动着现代科学技术的进步。而传统的单一驱动方式并不能同时满足大行程、高精度的定位要求，行程与定位精度之间的矛盾日益突出。因此，开展大行程精密定位系统的研究具有重大的理论和现实意义。宏微双驱动技术是实现大行程、高定位精度的一种有效策略，基于这一方法，本课题搭建了宏微双驱动高精度二维运动平台系统：宏驱动平台完成大行程要求的位移量，激光传感器测量宏驱动平

2、台的位移误差，压电陶瓷驱动微驱动平台补偿位移误差，提高整个系统的定位精度。宏徼双驱动高精度二维运动平台主要包括三个模块：宏驱动平台、徼驱动平台和宏微双驱动的协调控制。将直线步进马达作为宏驱动平台的本体，通过系统辨识建立了步进马达的理论模型，提出了当采样周期较大时基于理论模型预测位移误差补偿的方法，仿真结果表明该方法能够明显提高系统的定位精度。设计并制作了一种新型的二维微驱动平台，采用柔性铰链作为传动结构，利用双平行四杆机构来减少两维的耦合位移。通过ANsYS仿真分析得出该微驱动平台满足了系统对刚度、强度和固有频率的要求

3、。结合平台的简化模型和系统辨识方法，建立了微驱动平台的动态响应模型和压电陶瓷闭环控制下的输入电压与输出位移的线性关系。基于以上系统，进行了宏微双驱动二维运动平台系统的实验研究：探讨了宏微协调控制的方式、阐述了系统的硬件设计、测试了微驱动平台和测量设备的性能。开展了较大行程的宏微双驱动实时补偿的定位实验，验证了该双驱动技术能够实现大行程和高精度的要求，成功地解决了宏观和微观的矛盾。本文最后总结了研究内容，并在提高宏微双驱动运动平台系统的定位精度方面提出了一些建议和希望。关键词：双驱动、高精度、大行程、柔性铰链、系统辨识浙

4、江人学硕士学位论文Abstract7I’helongfangeandhighprecisionpositjoningtechnologyiscriticaltotlledeVelopmentofbiomedicalengiIleeriIlg，IIlicro—electromechanicalsysten】s．ThetraditionalsiIlgledriVestrategyc卸’treal娩ebothlarge·strc'ke觚dhigI卜precisionsi锄lltaneouSly．Therefore，resea

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