高加速度宏微运动平台研究.pdf

《高加速度宏微运动平台研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、机械设计与制造第9期140MachineryDesign&Manufacture2014年9月高加速度宏微运动平台研究刘喜涛，高健(广东工业大学机电工程学院，广东广州510006)摘要：对高加速度宏微运动平台进行了研究，在分析宏微复合驱动技术的基础上，采用一种新型的宏微驱动方式，研制了基于压电陶瓷的高加速度宏微运动平台。宏运动由音圈电机驱动，可实现高加速度、大行程运动；微运动由安装在音圈电机轴上的压电陶瓷驱动，用以补偿宏动所产生的定位误差，达到高精度的设计目标。在微动过程中，由绝对式直线光栅尺实现闭环位置反馈。根据设计要求，搭建了

2、宏微驱动高加速度高精度定位平台，通过实验验证其性能。实验结果表明，该宏微运动平台加速度大于10g，重复定位精度小于1m。关键词：运动平台；高加速度；高精度；宏微驱动中图分类号：TH16文献标识码：A文章编号：1001—3997(2014)09—0140—03ResearchonHighAccelerationMotionStageofMacro-MicroDrivingLIUXi—tao，GAOJian(SchoolofEleetromechaniealEngineering，GuangdongUniversityofTechno

3、logy，GuandongGuangzhou510006，China)Abstract：Highaccelerationmotionstageofmacro-microdrivingisresearched．Onthebasisofanalyzingthemacro-microdrivingtechnology，anovelmacro-microdrivingmethodisadoptedandthehighaccelerationandhighprecisionmotionstageofmacro-microdrivingbas

4、edonpiezoelectricactuatorisdeveloped．Themacromotionisdrivenbyvoicecoilmotortoachievethemotionwithhighaccelerationandlongstroke．Whilethemicromotionisdrivenbypiezoelectricactuatormountedonthesofthevoicecoilmotor，whichisusedforcompensatingthepositioningerrorcausedbythema

5、cromotiontoachievehighprecision．Duringtheperiodofmicromotion，absolutegratingscaleisutilizedtorealizetheclosed-looppositionfeedback．Basedonthedsrequirements，琥emacro—microstagei．~~hilt．Inaddation，thepe~rmanceexperimentsarecarriedout．TheresultsshowthatthestageVanachievet

6、heaccelerationgreaterthan10gandapositioningaccuracyofrepeatabilitylessthanllxm．KeyWords：TMotionS~ge；HighAcceleration；HighPrecision；Macro-MicroDriving的定位精度；文献目阐述了直线驱动的XY双向运动平台，XY运1引言动平台最大加速度可达6．8g。国外众多公司和科研院所如IBMI21、随着以集成电路为主体的微电子制造业的发展，装备对运Intel、AMD、Micron、Nikon、Canon

7、、ASMI等对高加速高精度定位动系统的行程、加速度、定位精度等提出了极高的要求。未来封装平台进行了研究。设备的技术水平：定位精度<1m，运动加速度为(12～15)”。这些国内对精密定位平台的研究起步较晚，但已取得一些成果。指标超出了传统封装设备的极限工作范围，对新一代的封装设备清华大学研制的步进扫描光刻机硅片台掩膜台系统的超精密气的研究势在必行。精密运动平台是微电子制造设备的核心部件，浮运动试验台的运动定位精度可达12nmt~。文献设计的两自由其性能的优劣直接影响微电子产品的性能。因此，研究新型的高度高速高精度定位平台，运动范围为

8、(50x50)mm，重复定位精度±加速高精度定位平台对于微电子封装装备产业具有重要意义。2txm，最大加速度5g，最大运动速度为0．5m／s。此外，文献嘴高国外对高加速度高精度运动平台的研究起步较早，现已取校亦开展了对高加速度精密运动平台的研究，取