划片机保养作业指导书

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1、制定修改履历制定年月日版号内容批准人拟制人：审核人：1.冃的：为了能更好的统一•组装二部划片设备的定期点检、预防性保养工作。确保划片设备的状态与性能的完好，延长设备的有效使用寿命，减少设备的备件损耗，提髙设备的稳定性。1、适用范围：本标准适用于组装二部所有半自动划片机的定期点检、周期性预防保养。2、计划与周期:3.1设备的定期点检计划的制定是以技术部的点检计划为依据，预防性保养的计划和周期是以设备的运行状况和定期点检的计划综合互补而制定的。3.2设备定期点检周期为12个月。3.3设备保养周期为4个月，。3.4当预防保养和定期点检时间重合时，设备以

2、定期点检的标准实施。4、职责：设备的预防保养、定期点检由本工序设备扌当人员实施，产品品质由MC人员确认。5、要求:5.1保养和点检根据计划表（表一）来实施，5.2设备的保养和点检内容严格按下（表二）中点检判定内容实施。5.3定期点检结束后填写“划片机定期点检成绩书”（表三），山MC人员确认产品质量，并填写“划片机MC检查成绩书”（表五）。5.4保养结朿后填写“划片机保养成绩书”（表四），由MC人员确认产品质量，并填写“划片机MC检査成绩书”（表五）。5.5点检和保养成绩书实施完成后需交设备主管人员确认。5.6所有的成绩书将每月山技术部设备管理人员

3、统一收管。6、表格：6.1表一为点检和保养计划实施表6.2表二为“划片机定期点检检杳判定内容”6.3表三为“划片机定期点检成绩书”6.4表四为“划片机保养成绩书”6.5表五为“划片机MC检查成绩书”表一前工序定期点检和预防保养计划表设备编号机号设备名称型号规格月份责任人工序内容E023-0023划片机DAD-3201XXX划片点检E028-00115划片机A-WD-10A1XXX划片保养农二划片机定期点检检查判定内容其屮6、7项为全自动划片机保养项n点检内容NO点检项H点检方法判定基准异常处理工具安全点检1接地用万用表测量电源地线与设备外壳间的电

4、阻V100Q修理万用表2漏电保护手动漏电保护开关按钮开关自动跳开5紧急停止在测试中检杳工作立即停止定期点检1文氏阀清洗超声波清洗无脏物清洗超声波清洗机机构点检1X轴相应菜单下手动动作确认动作正常修理2Y轴3Z轴40轴性能点检1调零功能在底盘上测高动作无误2切割粕度切一片圆片在测量显微镜下测量误差小丁，5um/160mm调整修理状态点检1调冬冋路测量主轴与底盘之间的电阻40Q以下修理万川表2底盘定位圈目视&装配表血光滑，与底座装配好，能H由旋转修整3底盘外观目视无异物无缺损更换4信号运转时目视确认红黄绿止常亮修理更换5物镜II视无异物清扫6空气过滤

5、器目视无变色更换7配线配管目视无破损破裂更换8听觉嗅觉无异音异臭修理品质点检1划片质量自动划片5片以上rhMC检查按“MC判定基准“判定调整修理日常点检1“日常点检表”确认检査“日常点检表”实施无遗漏指导表三划片机定期点检成绩书（组二）WS07-001编号：型号：制造厂家：机号：计划点检H期：点检内容NO点检项目判定基准点检结杲异常处理备注安全检查1接地<1000Q2漏电保护开关H动跳开良否3紧急停止工作立即停止良否定期点检1文氏阀清洗无赃物无有机构点检1X轴动作正常良否2Y轴良否3Z轴良否40轴良否性能点检1调零功能动作无谋良否2切割精度误差小

6、于5um/160mmum状态点检1调零冋路40Q以下Q2底盘外观无界物无缺损无冇3底盘定位圈目视，装配良否4信号塔红黄绿正常亮良否5物镜无异物无有6空气过滤器无变色无有7配线配管无破损破裂无有8异音异臭无异音异臭无有品质点检1划片质量按“MC判定基准“判定良否13“日常点检表”确认实施无遗漏无有点检H期判定结果点检者设备主管设备管理表四划片机保养成绩书（组二）编号:WS07-002设备型号：设备编号：编号：序号保养项n人保养方法/判定基准保养内容保养结果1切割室卫生淸扫划片机的切割槽，淸扫防水皮筹，保证淸2排风与排水管道淸理排风排水管道，保证排风

7、排水管道疏通整洁3切割水喷嘴确认切割水流量，疏通切割水喷嘴，淸洗流量计4OPC电压100%±2（DiscO划片机）8V左右（TSK划片机）5刀片破损检测（DAD320除外）BBD值达到90%以上6清洗底盘上园片位置园片在清洗底盘屮间7清洗底盘真空真空值在-75Kpa以下8刀片冷却水管位置是否紧固，位置准确（不会损坏芯片表而）9外围报警灯正确工作设备运行时没有异咅、异味水管、气管无破损电路安全可靠，保护检测止常10X/Y/Z/0轴轨道丝杆清洁，滑块加油润滑11检查设备H点检情况保养人：确认口期：设备主管：保养口期：表五划片机MC检查成绩书设备编号：

8、机器号：使用刀片:序号检查内容判定基准检查结果判定1划槽刀缝Max:8umum2划槽宽度25WXW40umum划槽位置划槽在划片槽中央是