作业指导书--制绒标准作业指导书

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1、一、制绒口的2二、制绒原理2三、适用范围2四、职责2五、操作流程2L开机22.关机23.生产34.配液35.补液36.配液操作3六、检测内容及技术要求4七、关键控制点和检查频次4八、设备及物料清单4九、具体规范图示5十、注意事项9制绒目的1.去除硅片表面的机械损伤层；2.在硅片表面形成金字塔状绒面以减少反光率；3.酸洗去除硅片表而的硅酸钠、氧化层及金属离子。二、制绒原理1.在低浓度NaOH水溶液屮，硅片表而发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。2.化学反应方程式：Si+2NaOH+H2（）二Na2SiO3+2H“。适用范本作业指导

2、书适用于单晶车间内，制绒工段所冇工作人员。主要设备为台州强丰清洗制绒机。职责1.操作员负责依照作业指导帖要求，按标准进行生产作业，学握正确的操作方法，确保人身安全、操作安全。2.在操作过程中遇到工艺或设备问题应及时向工艺或设备人员反映，相关人员须及时提供帮助，解决问题。五、操作流程1-开机a.检杏确认纯水、电、圧缩空气、氮气是否供应正常；b.检查确认设备排风是否正常；c.开机，打开位于设备后配电箱内的电气开关并确认二级开关全部打开；d.登录，点击触摸屏，确定登录；e.切换为手动模式，在手动模式下打开所有槽盖，确认各槽溶液是否正常，确认各槽内

3、无花篮无杂物;f.将设备切换为自动模式，各槽开始自动升温；g.待温度达到设定值后，开始试片投产。2.关机a在手动模式卜•打开所有槽盖，检查确认各槽内有无花篮，待所有花篮都取出后方可进行关机操作；b关闭所有槽盖；C.关机，关闭位于设备后的电气开关。2.生产生产过程A.装片，将仓库领来的硅片从箱子中取出，然后小心插入小花篮中，并以200片为一生产批次并做好所有相关记录,；B进篮。将清洗完的小花篮装上压条，放入大花篮屮（200片/篮，大花篮放在进料台上），按下“上料确认”键；C取篮。花篮依次经过机器内所冇流程后，从下料台下料，拿出大花篮并取下所冇

4、小花篮压条；D.JUT。硅片在制绒机内取出后，在丿UT区进行丿UT,丿UT后，应达到硅片、花篮表面无水迹。E.绒血检测。在制绒好的花篮中，収出事先称重的硅片，观察绒血质量是否合格。同时进行称重，确保制绒后的硅片减重在控制范围Z内。F对绒面质量做好记录，真实准确的填写工艺流程单，并确认下个生产批次投片前溶液补充量。3.配液粗抛2#：NAOH6kg>乙醇8L、时间120s；制绒4#：NAOH2.5kg、制绒5#：NAOH2.5kg、制绒7#：NAOH2.5kg、制绒8#：NAOH2.5kg>乙醇5L、制绒添加剂:乙醇5L、制绒添加剂:乙醇5L、

5、制绒添加剂:乙醇5L、制绒添加剂:500ml、时间1200s；5(X)ml、时间12()()s；500ml>时间1200s；500ml、时间1200s；酸洗11#：HF4L、HCL4L、时间120s；酸洗13#：HCL8L、时间120s；4.补液一般情况下每两批补一次化学试剂；粗抛2#：NAOH750g乙醉1.5L；制绒槽4#、5#、7#、8#：NAOH500g乙醇1.5L制绒添加剂70-100ml；注：补液量应参考上一批硅片的减重量，将硅片减重保持在0.5g左右，酌悄适当增减NaOH量；6・配液操作A.将设备设为手动模式；B.打开槽盖，排

6、掉老液，然示用纯水冲洗化学槽，确保槽的清洁干净；C.首先补充纯水，水位要低于上限位处3-7cm（确保一定的余量为要添加的化学溶剂留下空间）；D.关闭槽盖，将设备设为自动模式，化学槽开始升温；E.待水温升至70°C时，将红氧化钠缓慢均匀倒入槽中，并充分搅拌均匀；F.待温度达到设定值后，将乙醇及制绒添加剂缓慢均匀的倒入槽屮，并充分搅拌均匀，开始试片;G试片绒而状况及减重止常，可以不加液，立即大批量投片；如有弄常通知工艺员检查解决。六、检测内容及技术要求1.硅片重量要求减少重量控制在0.45g

7、3片；检测工具:电子天平（精度:O.OOlg）；检测方式：占检；2.绒面状况要求角锥体大小均匀，覆盖率在95%以上检测数量：每一批（200片）抽检3片；检测工具：金相显微镜；检测方式：占检3.表面清洁度要求表血无明显的沾污物、指纹和划痕，检测数量：每一批（200片）抽检3片；检测工具：目检；检测方式：B检；七、关键控制点和检查频次1.制绒槽内温度：每次上料时需确认；2.压缩空气和氮气压力：每班检查一次；3.工艺参数确认：每次进行交接班时确认;4.工艺参数的调节：需进行记录；八、设备及物料清单台州强丰全自动制绒酸洗设备;甩干机；金相显微镜；台

8、秤：1g~6000g；电子天平:1mg〜200g；小花篮；大花篮；小推车；氢氧化钠；制绒添加剂；乙醇；蛍氟酸；盐酸；pvc手套;；搅液棒；硅片：125mmxl25niin；九、具