制绒作业指导书范文.doc

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1、制绒作业指导书范文　　1制绒作业指导书A1去除硅片表面的损伤层，在硅片的表面制作出均匀一致的金字塔形绒面,增加光的吸收。　　2初始参数项目设定标准控制范围备注温度74℃±3℃时间18min±5minNaOH浓度2%±0.5%IPA浓度6%±0.5%体积比制绒添加剂（X）0.7%±0.25%体积比Na2SiO30.1%±0.05%3开机→配液→联动/单独→投片→转酸洗3.1开机3.1.1确认各空开都处于断开状态，没有物体阻碍机械臂正常运行，操作面板上“手动→单独→联动”选择开关处于手动位置。　　确认高压空气、纯水、氮气等管道上的手动阀门均已打开；

2、且压力正常，空压（0.5-0.6）MPa，N2（0.5-0.6）MPa，纯水（0.2-0.25）MPa。　　3.1.2依次闭合控制底板上的空气开关QFO-14。　　3.1.3将操作面板下方电源开关旋至“Ⅰ”位，系统处于手动状态开始自检。　　3.2配液3.2.1在手动状态下，点击触摸屏，将相应的槽体盖子打开，点击注水，将所有工艺槽内注满水(注水停止为限)。　　3.2.2准备好所需化学试剂，带上防护面具和长筒乳胶手套，将NaOH、Na2SiO3按量倒入相应槽内(由于Na2SiO3是块状，NaOH是细小颗粒状，配液时应先添加Na2SiO3，再加NaO

3、H；另外在配液时，撒倒试剂时要缓慢、均匀，防止大量NaOH，Na2SiO3倒入，致使溶液飞溅，对人造成伤害)。　　由于IPA在高温下具有很强的挥发性（沸点82.5℃），可在设备自动运2行、载有硅片的片篮进QDR槽、制绒槽盖子打开时，加进制绒槽。　　3.2.3调节温控器将温度设定成工艺值，点击触摸屏上的加热按钮，给溶液加热。　　3.3将设备运行状态启动成“联动”或“单独”状态。　　3.3.1当各温控器上的实际值达设定值时（室温升至80℃大约需要30分钟），点击“设备状态区”查看设备是否满足“单独”或“联动”运行条件。　　3.3.2当“设备状态区”

4、条件满足时，点击“工艺选择区”，选择所需设定的工艺号；点击“工艺号”键。　　利用弹出的键盘输入工艺号。　　点击“工艺参数修改”键，进入请求密码屏，密码输入正确后进入更改工艺参数修改屏，点击各槽键设定相应槽的工艺参数，完毕后点击“确定”键然后再点击“返回”键，工艺设定完毕。　　3.3.3将操作面板上的“手动→单独→联动”选择开关打至“单独”或“联动”位置实现制绒机单独或联动运行。　　接着按压操作面板上的“启动”按钮，设备开始自动运行。　　3.3.4将装有硅片的片篮放入上料台；按设备上料台的“投入确认”按钮。　　片篮将按程序设定由机械臂抓取从前一个

5、槽移至后槽（三个制绒槽是并列的），即片篮只以经过一个制绒槽，当片篮到QPR槽时，制绒槽盖子打开，可将IPA加到制绒槽内。　　3.3.5设备处于“单独”状态时，制绒结束，片篮从下料台传出后，系统会发出声光报警。　　此时须人工将片篮移至下道工序。　　联动时，片篮经传送台自动移至下道工序。　　4硅片从制绒机出来后，每一片盒中非连续抽取2片，对其外观检查要求表面呈深灰色，颜色均匀，无白斑和亮斑，表面没有手指印和划痕；每一批中抽取非连续的2片，干燥后在金相显微镜下观察，要求金字塔形绒面大小均匀，宽度在1.5~2.5mm范围内；失重按指令单要求控制。　　备

6、注①补液NaOH和IPA在制绒过程中被消耗掉或挥发，为保持浓液中NaOH、制绒添加剂和IPA的稳定性，每批硅片（2片篮，150片）制绒NaOH补加60±10g，制绒添加剂补加0.03±0.01L，IPA补加0.2±0.1L。　　3②硅酸钠由于Na2SiO3是反应生成物，在溶液中以Na-O-[Si≡O2-]n-Na胶体形态存在，它的量对硅片表面质量有较大影响，原则上Na2SiO3浓度控制在0.4%-3%以内。　　③换液溶液每70—100篮更换一次。　　55.1定期（一般为一个月）用纤维纸擦拭所有光电开关的滤光片（注意不可移动光电开关的位置）；保持

7、机台清洁，经常清洗台面；对于无法冲洗干净的死角，应定期清理。　　每个月仔细检查提手所有的塑料螺钉是否有松动，检测各提手动作是否灵活；5.2每三个月仔细检查X、Y方向限位开关及原点感应开关、感应片是否松动移位；检查各感应开关和感应片是否因腐蚀或其他原因而失效；检查所有传动件、连接件国定螺钉是否松动；检查所有传动皮带是否松弛；机械传动系统的LM导轨出厂时已加注了润滑脂，平时不用再加注，一般三个月加一次润滑脂，用量不宜过多，以免沾污洁净室内环境。　　5.3仔细检查各处泄漏情况，紧固松动的螺钉（包括接线端子处）和管接头；检查各调节部分的灵活性；检查指示

8、仪表的正确性；检查电磁阀切换动作的可靠性；检查气动阀、快排阀的可靠性；检查是否存在气管、水管破裂等现象；气动元件的过滤器和排气洁净器，应定期排水（从观