制绒工序作业指导书

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1、----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需-------------文档下载最佳的地方保密级别C文件种类作业指导书文件编号LW－PT3－012－A0编制部门工艺技术部编制/日期修订/日期审核/日期批准/日期RENA制绒工序作业指导书1目的指导电池车间制绒工序人员的正常生产操作。2适用范围100MW电池车间制绒工序工作人员。3定义无4职责权限4.1生产员工：若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。4.2操作员4.2.1在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进

2、行调整。在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。4.2.2协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师。4.3班组长4.3.1班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。4.3.2当工艺工程师不在现场，且制绒后硅片的腐蚀深度、表面状况出现异常的时对腐蚀温度、带速、风刀频率、溶液浓度、溶液配比在一定范围内进行微调。当微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。4.

3、3.3当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对制绒的工艺参数以及清洗机的清洗工艺进行任何调整。4.3.4班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需-------------文档下载最佳的地方----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需-------------文档下载最佳的地方4.3.5协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时

4、应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。4.4工艺工程师：4.4.1保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。4.4.1.1工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行；4.4.1.2当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验。4.4.1.3工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。4.4.2在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数；4.4

5、.3巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理；4.4.4保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查，完成SPC相关工作；4.4.5配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。5工作流程无6正文6.1附属设施技术要求6.1.1环境温度：0℃～40℃6.1.2相对湿度：＜85%、无凝露6.1.3周围环境：无腐蚀性气体6.2RENA制绒结构特征Station1:腐蚀槽Station5：HF/HCL润洗Station2：冲洗1槽Stati

6、on6:冲洗3槽Station3：KOH润洗Station7:气刀风干----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需-------------文档下载最佳的地方----------专业最好文档，专业为你服务，急你所急，供你所需-------------文档下载最佳的地方Station4：冲洗2槽RENAInlineTextureEtching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。6.3设备的操作6.3.1操作准备确

7、认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。戴口罩，操作时戴洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。6.3.2信号灯及其状态灯声音状态信息无无声音机器处于关闭模式或SERVICE(服务）状态绿（连续）无声音1、机器处于自动模式。2、机器准备并在工艺运行中绿（闪烁）无声音1、机器处于自动模式。2、机器准备执行工艺黄（连续）蜂鸣响指令错误，未解决黄（闪烁）无声音机器处于手动模式红（连续）无声音当前有机器错误或异常中断错误并已承认红（连续）蜂鸣响新的机器错误或异常中断错

8、误，并未解决蓝（连续）无声音机器处于待命，并等待新的硅片6.3.3设备的操作模式6.3.3.1操作模式关闭：关闭所有输出信号。例如设备停止时，选择这种操作模式。状态显示的背景颜色是蓝色。模块关闭，所有输出信号关闭。6.3.3.2手动模式：单独控制每一模块的状态。状态显示的背景颜色是黄色。模块处于手动模式。6.3.3.3服务模式：主要用于维护。当选择该模式，关闭所有输出信号。可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。没有安全互锁。状态显示的背景颜色是红色。模块处于服务模式。6.3.3.4自动模式：当