验收公示材料

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1、公示材料受国家环保总局委托，北京市环保局对中芯国际集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目（一期）进行建设项目竣工环境保护验收，现将有关情况公示如下：一.项目概况：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目（一期）位于北京经济技术开发区文昌大道18号。总占地面积240030m2,其中本次验收的超大规模集成电路芯片生产线（一期）项目工程占地136753m2项目,建筑面积：184367.5m2;项目投资12.5亿美元，其中环保投资1亿美元，约占项目总投资的8%。二.验收标准1、废气工艺废气排放执行GB1

2、6297-1996《大气污染物综合排放标准》中（表2）新污染源二级标准，氨执行GB14554-93《恶臭污染物排放标准》中氨的限值，PH3.AsH3和SiH“分别采用TJ36-79国家《工业企业设计卫生标准》车间空气中有害物质的最高允许浓度和荷兰排放导则中的标准。见表2-1。表24工艺废气排放标准污染物最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率（kg/h）30m40mh2so4雾458.815NOX2404.47.5氟化物90.591.0HC11001.42.6Cl2650.872.9非甲烷总坯12053100氨勺一2035SiHi5.

3、0*3OEph30.3*20.01*3AsH30.3絵■■*1取自GB14554-93中氨的限值*2执行TJ36-79国家《工业企业设计卫生标准》车间空气中有害物质的最高容许浓度。*3荷兰排放导则2、废水污水排入开发区污水处理厂，最终汇入凉水河。排水水质执行《北京市水污染物排放标准（试行）》中“排入城市下水道的水污染物排放标准”中的B标准，其中AOX执行《污水综合排放标准》（GB8978J996）中的三级标准，氨氮执行该标准中的二级标准。见表2・2。表2・2水污染物最高允许排放浓度标准（单位：mg/L,除pH外）项目CODcrPH油脂SSC

4、uBODFAOX氨氮最高允许排放浓5006-91005001.0500108.025采用标准名称《北京市水污染物排放标准》排入市政下污水综合排放标准水道标准中的B标准三级二级3、噪声根据北京市噪声功能区的划分，该地区属于噪声环境功能区的3类区。厂界噪声执行《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)中III类标准。见2-3o表2-3工业企业厂界噪声标准(GB12348-90)单位:Leq(dBA)类别昼间夜间m类6555注：北京地区昼间为6时至22时,夜间为22时至次日6时。三、验收监测结果1、废气监测结果北京市环境保护监测中心于200

5、5年5月10日和11日对中芯国际集成电路制造(北京)有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目(一期)的酸性废气、碱性废气和有机废气排气筒废气进行了现场监测。监测结果见表3・1、3~2o表3・1四车间F^b4排气筒废气监测结果表检测点位排气筒号污染物监测结果最咼允许排放浓度(mg/m3)最高允许排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)等效排放速率(kg/h)5月10H酸性废气洗涤塔(SES55-1)出11Fab4P11硫酸雾9.09X10-30.0254512.4氮氧化物3.0X10-30.0432406.2氯化氢0.0110.0501002

6、.1氯气9.2XW30.0300.872.0氟化物9.2X1(X30.03590.83Fab4P12硫酸雾1.58X10-20.0254512.4氮氧化物0.0270.0432406.2氯化氢0.0250.0501002.1氯气0.0110.0300.872.0氟化物0.0130.03590.835月10日酸性废气洗涤塔(SES55-1)出口Fab4P15硫酸雾1.6X1010.0254512.4氮氧化物1.3X10-20.0432406.2氯化氢1.4X10-20.0501002.1氯气1.0X10-20.0300.872.0氟化物1.3

7、X10-20.03590.835月10H碱性废气排气筒出口Fab4PIO氨0.387.9X10-3■一295月10口有机废气排气筒岀口Fab4P06非甲烷总坯0.202.8X10-312080Fab4P07非甲烷总坯0.121.9X10-35月11日酸性废气洗涤塔(SES55-1)出口Fab4PH硫酸雾0.03080.0374512.4氮氧化物2.6X10乌0.0522406.2氯化氮0.0140.0351002.1氯气3.8X10-30.0160.872.0氟化物0.0160.08790.83Fab4P12硫酸雾5.63X10-30.03

8、74512.4氮氧化物0.0330.0522406.2氯化氢9.8X10-30.0351002.1氯气6.5X10-30.0160.872.0氟化物0.0150.08790.83