pmos工艺仿真

pmos工艺仿真

ID:43347646

大小:29.01 KB

页数:3页

时间:2019-10-01

pmos工艺仿真_第1页
pmos工艺仿真_第2页
pmos工艺仿真_第3页
资源描述:

《pmos工艺仿真》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库

1、goathenalinexloc=-10spac=0.5linexloc=0spac=0.5linexloc=10spac=0.5lineyloc=0spac=0.5lineyloc=10spac=0.5initsiliconorientation=100two.ddiffusetemp=1100time=30weto2extractname="Tox"thicknessoxidemat.occno=1x.val=0setlay_left=2setlay_right=7illuminationg.lineillum.filtercl

2、ear.filcirclesigma=0.38projectionna=.54pupil.filterclear.filcirclelayoutlay.clearx.lo=0z.lo=-3x.hi=$lay_leftz.hi=3layoutx.lo=$lay_rightz.lo=-3x.hi=9z.hi=3imageclearwin.x.lo=0win.z.lo=-0.5win.x.hi=9win.z.hi=0.5dx=0.05one.dstructureoutfile=mask.strintensitymaskTonyplotm

3、ask.strdepositname.resist=AZ1350Jthick=.8division=30rate.devname.resist=AZ1350Ji.linec.dill=0.018structureoutfile=preoptolish.strTonyplotpreoptolith.strexposedose=240.0num.refl=10baketime=30temp=100developkimtime=60steps=6substeps=24structureoutfilr=optolith.strrate.et

4、chmachine=wetoxidewet.etchisotropic=0.5u.metchmachine=wettime=2minutesimplantphosphordose=1e13energy=150diffusetime=35temp=1000extractname="xj"xjmaterial="Silicon"mat.occno=1x.val=0junc.occno=1etchoxidealldiffusetemp=950time=30dryo2extractname="Tox"thicknessoxidemat.oc

5、cno=1x.val=0tonyplotsetlay_left=-6setlay_right=-1illuminationg.lineillum.filterclear.filcirclesigma=0.38projectionna=.54pupil.filterclear.filcirclelayoutlay.clearx.lo=--8z.lo=-3x.hi=$lay_leftz.hi=3layoutx.lo=$lay_rightz.lo=-3x.hi=1z.hi=3imageclearwin.x.lo=-8win.z.lo=-0

6、.5win.x.hi=1win.z.hi=0.5dx=0.05one.dstructureoutfile=mask.strintensitymaskTonyplotmask.strdepositname.resist=AZ1350Jthick=.8division=30rate.devname.resist=AZ1350Ji.linec.dill=0.018structureoutfile=preoptolish.strTonyplotpreoptolith.strexposedose=240.0num.refl=10baketi

7、me=30temp=100developkimtime=60steps=6substeps=24structureoutfilr=optolith.strimplantborondose=1e13energy=100tilt=7diffusetime=35temp=1200etchoxidealldiffusetemp=950time=60dryo2extractname="Tox"thicknessoxidemat.occno=1x.val=0depositnitridethick=0.12div=5setlay_left=-0.

8、5setlay_right=1.5illuminationg.lineillum.filterclear.filcirclesigma=0.38projectionna=.54pupil.filterclear.filcirclela

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文

此文档下载收益归作者所有

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文
温馨提示:
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件,查看预览时可能会显示错乱或异常,文件下载后无此问题,请放心下载。
2. 本文档由用户上传,版权归属用户,天天文库负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容,确认文档内容符合您的需求后进行下载,若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误,付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。