去PSG作业指导书

《去PSG作业指导书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、江西天能电力股份有限公司文件类型：作业指导书文件编号：版本号：编制部门：技术部生效日期：页码：标题：去PSG工艺作业指导书1.目的清洗掉硅片在扩散时在表而生成的磷硅玻璃。2.适用范围2.1除去硅片表面磷硅玻璃及其后甩干(125mm*125mm和156mm.*156mm)2.2生产线工人对机器的操作，以及对原材料的使用；2.3生产小的注意事项以及要求。2.4适用于无锡瑞能公司生产的全自动去磷硅玻璃清洗机。3.定义磷硅玻璃：在扩散过程中发生反应，P0C13分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子，这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称

2、之为磷硅玻璃。4职责4」所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；4.2在操作过程中遇到问题应及时向相关工程师反应，相关工程师及时提供帮助。5.操作过程5」准备工作5.1.1确认各槽控制系统工作止常，程序准确，时间设定准确。5.1.2确认投入作业的硅片的型号、批号、数量正确。5.1.3按规定工艺配制一槽所需酸液，然后将二、三槽注满去离子水。5.2工艺过程521确认投入作业的硅片的型号、批号、数量、工序。522戴PVC(橡胶)手套将等刻检查合格的硅片按要求装入片架内。5.2.3将插满硅片的片架按顺序平稳地放入清洗花篮内。524插片时，片了必须止确放在片架槽内，并随时检杳是否

3、插反片。5.2.5用双手将放有硅片的清洗花篮放入四槽清洗机送料口。526再检查一遍运行程序正常，将“手动/自动”打到“口动”状态，按“自动运行”使程序开始运行。527四槽清洗机运行时，随吋查看运行状况，确保运行正常。528程序运行结束后，双手操作，取出清洗花篮，放入推车内运至甩干机旁甩干。529花篮从甩干机取出后，必须检查硅片表面，耍求背面脱水。否则汇报技术人员解决。5.2.10正确填写好流程卡及碎片数。5.2.11将盛满片架的花篮直接放上送料口，口动开始下一轮清洗。5.3甩干工艺过程5.3.1检查喷水时间及转速、喷氮时间及转速正确，油温正常，世干的温度符合工艺要求。5.

4、3.2戴好一次性手套，将清洗好的片架平稳的放入甩干机内。5.3.3双手按关门键，关闭上盖。5.3.4按启动键，甩干程序启动，硅片开始清洗甩干。5.3.5甩干结束,报警提示。5.3.6按开门键，开启上盖。5.3.7戴好一次性手套双手平稳的将甩干的硅片放入周转箱中，送下工序。5.3.8甩干结束发现碎片及时记录在流程卡上。6工艺参数6.1四槽清洗工艺条件槽位1234时间60秒240秒120秒450秒溶液HF：6LW：0.7L流动去离子水清洗流动去离子水清洗%鼓泡去离子水喷淋清洗目的去除表面氧化层，注意避光去除腐蚀液去除腐蚀液去除腐蚀液注：每隔12小时更换一槽清洗液。6.2四槽甩

5、干工艺条件温度(°C)工作气体压力(MPA)清洗环节烘干环节压缩空气氮气时间(S)转速(RPM)时间(S)转速(RPM)120±100.5—0.60.5—0.6120350-400300-330400-5507注意事项7」配制酸液时，必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。7.2检查各槽的显示时间要止确，否则汇报工序负责人解决。7.3操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。7.4将硅片装入片架时，磷扩散的正面要面向片架的背面。7.5推车上层只允许放清洗花篮及片架，同时注意储水桶内的水及时倒掉，保持车子的清洁。7.6清洗到甩干Z间的等待时间要尽量控制在30分钟Z内

6、，甩干后到PECVD等待时间控制在4小时以内，如等待时间超过8小时，必须重新清洗。7.7甩干机内对称的片架片数尽量相等。7.8四槽清洗用工装如周转箱，片架必须与六槽清洗机使用的工装严格区分；每月必须将使用的周转箱全部用30%的工业酒粘:彻底清洗一次。8信息反馈8.1每张流程单的硅片如果在生产过程中碎片数和不合格数大于3片，必须马上通知相关工序负责人。8.2设备出现问题时要填写设备运行及维护记录，同时通知工序负责人和相关人员。9环境卫生要求及交接9」每班生产结束后要清扫卫生，同吋把设备中的碎片清理掉并把所有设备擦拭干净，领来的化学药品瓶擦拭干净，所有物品摆放在要求位置并H摆

7、放整齐。9.2检查耗材有无损坏，按照生产报表的要求填写相关内容。9.3等到和下一班交接完成后方可离开车间，并把垃圾带走。10生产设备、工装和物料设备、仪器工具、夹具名称规格或代号名称规格或代号四槽清洗机推车JX0400型特制清洗花篮片架周转箱特制125X125M891001材料名称规格动力等刻后的硅片HFHN4F去离了水125X125mm分析纯分析纯213MQ电源：3N-380V-50HZ自来水:氮气压力：^X105Pa压缩空气：^105Pa温度:(25±3)°C空气洁净度等级:十万工艺卫生等级、士、亠预防措施w穿戴工作服、帽