欢迎来到天天文库
浏览记录
ID：38340718
大小：163.50 KB
页数：4页
时间：2019-06-10
《多晶psg调试报告》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、多晶湿刻蚀机一、设备简介1.MachineSpecifications2.LineProcess3.echnicalData二、工艺方案1、参数设定2#配槽：水165L氢氟酸1次（16L）添加：水1次（1L）氢氟酸60s（0.5L）3#配槽：水45L氢氟酸1次（19L）硝酸Ⅰ3次（3*15L）硝酸Ⅱ4次（4*20L）添加：水1次（1L）氢氟酸60s（0.5L）硝酸70s（0.5L）5#配槽：用槽体清洗加水80L添加：水1次（15L）7#配槽：水180L氢氧化钠1次（12L）添加：1次（水18L氢氧化钠1.5）9#配槽：水100
2、L氢氟酸1次（13L）盐酸3次（3*15L）添加：2、换液添加频次2#配槽：每天添加：1000片1次（水16L氢氟酸L）3#配槽：40w片添加：氢氟酸540片60s（0.5L）硝酸1250片70s（0.5L）5#配槽：每天添加：500片水1次（15L）7#配槽：每天添加：1000片1次（水18L氢氧化钠1.5）9#配槽：每天添加：1000片1次（）三、所遇问题1、减重小0.04g将刻蚀槽添加时间延长氢氟酸540片90s硝酸1250片105s2、因多晶硅片容易碎片，导致在机器内卡片比较严重，风刀在保证吹干的情况下尽可能的小点。
此文档下载收益归作者所有
