多晶裂片分析报告.ppt

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1、二厂多晶裂片分析报告硅片技术部游浪涯2012-03-10背景近期多晶破片和D级中发现大量裂片、其在破片+D级中约占70%；远远超过制程不良导致的TTV、超厚、超薄等异常片；而裂片的直接原因与过程管控存在较大相关性。以下为裂片模式示意：胶面胶面胶面导向条面导向条面导向条面隔板位置裂片胶面缺角裂片上下面裂纹胶面导向条面侧面裂片在裂片类型中主要分为以上4中类型的裂片；其中占比较高的为胶面裂片与侧面裂片通过以下数据对比分析其产生的根本原因。清洗前裂片分析实际调查中发现清洗前破片的主要因素在于晶棒的下机状况

2、；即与预清洗是否干净相关性最大；以下为对比数据：左图数据来自相同切割液不同切割砂的第1刀以及第2刀的对比数据（各5刀数据、裂片中不包含厚片、刀痕片）其中100%浩博混合砂下机状况明显好于50%盛达；由此可知：1.因第1刀下机状况较第2刀好；其清洗前裂片明显低于第2刀；2.因100%浩博混合砂下机明显比50%盛达下机状况好，其清洗前裂片（用第2刀对比、因第1刀下机均很好）明显低于50%盛达砂。以上对比数据可知；影响清洗前裂片的主要原因为预清洗状况，而影响预清洗状况的主要原因为晶棒的下机状况；故影响清

3、洗前裂片的主要原因来自下机状况是否良好。1.1清洗前裂片的主要原因1.2清洗前裂片的其他原因在数据统计过程中发现；还有以下几个方面的原因对清洗前裂片有较大影响：1.2.1插隔板裂片在统计的10刀数据中插隔板裂片占比为0.16%（隔板附近的破片/理论片）；统计2个操作工的插隔板裂片（不包含拼接缝边缘片及厚片）占比发现其异常比例相当；说明其过程处于较理想状态；只需及时将变形的铁板纠正过来；该异常占比可以控制在正常范围。1.2.1冲片裂片在发粘的晶棒中；冲片裂片（插片时发现）的占比为0.51%（3刀0交

4、换的晶棒）；说明冲片裂片占比较高；主要与水压以及单次冲片数量相关。清洗后裂片为在D级中发现的裂片；其占比较高；以下为3.9-3.10号在检验车间发现的D级分类（共997pcs）清洗后裂片分析左侧分类数据显示其中裂片占比为74.25%；其他不良占比25.75%；裂片异常中占比较高的类型为胶面缺角裂片（缺角发生在胶面）、侧面崩边裂片（侧面本身有崩边或者硅落）；以下针对占比最高的胶面缺角及侧面崩边裂片进行具体分析：整个流程中可能导致胶面缺角的操作有以下多个方面：排片拿片手法、转移花篮手法、超声强弱、甩干

5、机温度、进片推花篮检验员检片、以上过程若有异常或不当均会造成胶面缺角、通过以下数据来分析此异常的主要原因：2.1-胶面缺角裂片2.1.1胶面缺角与超声、甩干机温度、进片推花篮的相关性通过之前的污片异常调查（当清洗机超声较弱时无论把胶面排花篮顶部还是侧面在顶部、以及导向条面在顶部；污片异常均出现在花篮顶部、说明清洗机超声为底部强、顶部弱）可知如果缺角为超声太强导致则导向条面的缺角将远远高于胶面缺角，而其真实对比数据如右：上面的相对缺角占比数据可知超声强度不是导致缺角异常的主要原因该数据还能说明甩干机

6、温度高、进片推花篮不是造成该异常的主要原因。因甩干机喷气温度对于4个角来说是均匀的、进片推花篮，硅片与花篮撞击对4个角来说也是几率均等的、若为这些原因导致其胶面与导向条面的缺角不可能出现如此大的悬殊。2.1.2胶面缺角与拿单个花篮手法的相关性拿单个花篮操作有4次、第一次为排片满后转移至工装栏第2、3次为甩干操作、第4次为检片人员倒片、共跟踪3刀数据；确保4次拿花篮操作人员不接触硅片胶面其缺角位置数据如下：左侧对比数据说明胶面缺角裂片占比依然远高于导向条面说明该4个动作不是造成胶面缺角的主要原因。2

7、.1.3检片人员检片手法的相关性现场统计中发现检片人员把硅片倒出来后；若有碎硅片夹在硅片中间将硅片合整齐时可能造成缺角、其次在一叠硅片中挑取不良片时也会造成缺角对同一个检片员跟踪3刀（PV）数据后发现只有4pcs缺角裂片为该2部操作造成；该3刀的总缺角裂片数量为29pcs：该对比数量说明检片人员与缺角裂片有相关性但不是最主要原因。2.1.4排片手法与缺角异常的相关性：如果胶面缺角裂片为排片时导致；那么缺角裂片会集中在胶面中与排片员接触的那一个角上、而另外一个角是ok的；鉴于此、在排片时记下排片员拿

8、片的角为进线侧或者出线侧并统计缺角裂片数据（3刀）：左边的对比数据显示胶面缺角裂片与员工排片的相关性最大；另外还存在其他原因会导致胶面缺角裂片；但占比较低、其可能的原因为涂胶不均匀胶面本身有崩边造成缺角。2.2-侧面崩边裂片在分类D级裂片中发现有一类裂片占比较高即侧面本身有崩边、然后造成裂片；右图所示：胶面导向条面侧面裂片2.2.1侧崩裂片与冲片的相关性：以上侧面崩边裂片与冲片的相关性（各2刀）说明侧面崩边与冲片有一定的相关性；2.2.2侧崩裂片与插片的相关性以上为侧面崩边与员工插