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1、降低扩散不良Issuedby:王琛Issueddate:Jun25th,2010D1:组织团队与制定计划；D2:描述问题D3:碎片分布与即时补救D4:确定根本原因D5:实验及数据统计D6:方法实行和验证D7:预防与根本解决方案D8:效果确认和交流演示架构TeamLeader:王琛TeamMembers:扩散员工:王青、何超、高贵工艺员:刘斌贤、王鑫质检员:杨亚、夏志伟Diciline1组织团队与制定计划1.1团队介绍DATE:Feb.27th,2010碎片率人料法机组长扩散员工工艺员质检员Diciline1组织团队与制定计划1.2围绕问题组织团队DATE:Feb.27th,20
2、10项目2月上旬2月中旬2月下旬3月上旬3月中旬3月下旬4月上旬4月中旬4月下旬5月上旬5月中旬5月下旬6月上旬统计不良情况分析不良中碎片及不良的比率质检员、工艺员确认舟垫可以用质检员、工艺员确认新镊子可以用舟垫实验及实验数据统计新镊子实验及实验数据统计对比改进前后碎片率、崩边率制作操作规程评估试验对其他工序的影响经验总结与交流Diciline1组织团队与制定计划1.3计划安排DATE:Feb.27th,2010Diciline2描述问题2.1崩边介绍DATE:Mar.3rd,2010扩散崩边降低扩散碎片率、不良率是一个长期、持续改进的问题，不紧急但重要不紧急但重要紧急且重要不
3、紧急不重要紧急不重要紧迫性重要性Diciline2描述问题2.2重要性分析DATE:Mar.3rd,20105W2H包含内容When扩散生产过程中Where扩散间插片房What碎片率、崩边率较高Why插片工具不合适，石英舟与硅片碰撞剧烈Who生产一线员工How规范化插片方式，改进插片工具Howmuch花费最小，收益很多Diciline2描述问题2.3分析问题DATE:Mar.3rd,2010分析碎片和崩边分布制定临时补救措施制作鱼骨图进一步分析Diciline3不良分布与即时补救3.1分析步骤DATE:Mar.13th,2010Diciline3不良分布与即时补救3.2改善前不
4、良分布DATE:Mar.13th,2010临时补救措施加强管理技能培训及时激励Diciline3碎片分布与即时补救3.2临时补救措施DATE:Mar.13th,2010Diciline3碎片分布与即时补救3.3鱼骨图找出可能原因DATE:Mar.20th,2010镊子头镊子头形状不合适镊子头太硬扩散机温变过快扩散机故障方法不佳插片方法不正确镊子拿法错误插片时方法不统一工作态度工作技能插片太用力随心所欲不看SOPSOP不熟插卸片不熟练机器操作不熟练来料不良来料错误保存不佳来料隐裂来料掉角上工序给错用力过大造成隐裂未按规定放置左右手区别动作统一性低不良率高不良率舟不合适舟舟太硬扩散
5、机新员工混单片源差别Diciline4确定根本原因DATE:Mar.20th,2010ItemPossibleFactorRootCauseMan工作态度不积极、不认真NoMachine石英舟舟槽形状插卸片时硅片与石英舟底槽磕碰；镊子外形不合适，质地太硬Yes*Material片源差别NoMethod插卸片速度过快导致NoEnviroment现场环境及管理NoNote:Yes*isthecriticalfactor.方案一采用舟垫降低崩边方案二采用软性镊子头将硬质镊子头削尖、削平滑Diciline5实验及数据统计5.1实验方案DATE:Apr.13th,2010Diciline
6、5实验及数据统计5.2舟垫方案图示DATE:Apr.13th,2010Diciline5实验及数据统计5.3新镊子方案数据DATE:Apr.13th,2010Diciline5实验及数据统计5.4新镊子方案对其他工序影响DATE:Apr.13th,2010Diciline6方法实行和验证6.1方法实行具体措施DATE:Apr.10th,2010ItemMeasureResponsiblePersonMan详细制定标准作业流程（SOP）并严格执行王琛、王鑫、王青Method1.采购4个铁芙蓉材质舟垫，插卸片时起缓冲作业；2.采购新镊子和新镊子头刘斌贤Diciline6方法实行和验
7、证6.24月份和5月份同期碎片比较DATE:May.25th,2010Diciline6方法实行和验证6.32至6月崩边线性图DATE:Jun.17th,20101.及时清理舟垫，严格使用，在插片时起到缓冲作用2.硬质镊子头钝化后，及时用刀片将其削尖、削平滑3.软质镊子头会发生卷曲，及时更换新的镊子头Diciline7预防与根本解决方案7.1预防措施DATE:Jun.17th,2010人加强员工技能培训培养员工良好的工作态度机及时更换无法使用的镊子头正确使用并及时维护扩散机器采用舟垫降低扩散
