Scrubber 评估重点

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1、Scrubber評估重點1.依Gas種類先評估使用Type(wet/burn/thermal)2.評估ProcessGas處理能力(例如下表)GasKindMaker　　　　代理商　　　　　　　　　Gas1%99%95%95%99%Gas2%99%90%90%99%Gas3%99%99%90%99%3.安全裝置之評估(例如下表)(最好有安全單位認證..semi-s2or工研院..GE.等)itemMaker　　　　代理商　　　　評價　　　　1.Backfire(回火)interlock　2.By-passFunction　

2、3.LeakageDetector(O2sensor)　4.ExtinguishInterlock(UV)　5.LNG/LPGExchanger　6.LNG/LPGDetector　7.FacilityPressureLow　8.FuelPressureLow　9.Reactorhightemp.　10.Reactorlowtemp.　11.MissFire(UV)　12.BlowerTrip(電流、溫度)　13.N2PressureLow　14.CDAPressureLow　15.UVsensorAbnormal　16.

3、ExhaustHighTemp.　17.CO2splinker　4.Gas流量及處理流量之評估(例如下表)LayerICHAMBERGasKindFlowRate(sccm)UseTimeUsage/pcsEfficiencyGas1ByProcessRecipe

4、進行抽真空所需容量　　1.PC部分：(Chamber容積)/?sec(大氣到2000mT的時間)=?L/min2.TMPN2purge的部分：?L/min　3.DPN2purge的部分：?L/min　5.評估基本資料及scrubber的Cap.可容許chamber及處理量及(如下表)ItemMaker　　　　代理商　　　　　　　　　TechnicalDataMax.Capacity(Lpm)Max.InletPortQtyMax.WorkingTemperature(℃)LeakDetector　DimensionL*W*

5、H(mm)Weight(kg)5.評估廠商Service能力itemMaker　　　代理商　　　得分　　　ServicesupportPartsStockQtyinTaiwanArrivedArrivedArrivedServiceCenterinTainan?QtyofEngineerinTainanServiceCenter24-HourOn-call6.COO比較Runningcost(NT/Year)Maker　　　代理商　　　　　　　Initialcost　　　　ElectricalPower(Phase/Hz/

6、KW)RW(L/min)PCW(L/min)-CDA(L/min)-GN2(L/min)O2(L/min)CH4(L/min)FirstYearrunningcost×3台FiveYearrunningcost×3台AveragecostforFiveYear7.MTTR/MTBF比較8.Backupfunction及其他功能比較9.價格及保固條件分析