人静电防治共识课程

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1、新人共識訓練靜電防護俞端智AndrewYuProductEngineeringSectionEngineerManufacturingTechnologyDepartmentExt.2673E-Mail:andrewyu@msi.com.twFeb.2004靜電破壞影響目前台灣進入高科技的領域中，靜電放電(ESD)對微次米半導體所造成之破壞，如燒毀、打穿、劣化金屬層或破壞產品淺在性的失效等。在其他層面，靜電會產生高壓放電(火花)以及灰塵吸附問題，易造成爆炸、電擊等危安事件，這些問題除了導致企業成本

2、之提升，亦影響到企業形象損失。且現今企業已導入ISO品質認證，因此靜電防護工程為當前重要的課題，對於靜電破壞更需重視及防患。Feb.2004靜電產生的方式摩擦帶電剝離帶電流動帶電攪拌帶電沈降帶電噴出帶電感應帶電Feb.2004靜電產生原因--1摩擦--電荷遷移Feb.2004靜電產生原因--1Triboelectrification：當兩物體接觸時，電荷會遷移至相對地吸附力較強的一方。Feb.2004靜電產生原因--2接觸和分離Feb.2004靜電產生原因--2導體的接觸帶電在帶電導體表面，靜電荷

3、能自由流動。當它跟一中性導體接觸時，帶電導體上的靜電荷會跑至中性導體上，已達至雙方電荷平衡，因此該中性導體遂成為帶電導體。Feb.2004靜電產生原因--3感應帶電--電荷吸引Feb.2004靜電產生原因--3導體被感應而帶電若一帶電導體A放近於中性導體B，B上的同性電荷會排至B的背面，而異性電荷則會面向A。若此時B接地，異性電荷會從地吸引上來，中和B背面的電荷。若B的接地突然斷開，則B會殘留過多的異性電荷，做成B的感應帶電。Feb.2004影響靜電產生的因素--1物體之種類物體本身特性影響，致使

4、不同物體互相接觸分離，產生靜電之大小與極性有所不同。雜物及不純物一種物體中混入雜物或不純物，會使物體產生較多的靜電；若雜物或不純物能增加物體的導電性，亦會增加物體本身靜電的散逸速度。物體表面情況物體表面粗糙或有汙染物、氧化物等，均會增加靜電的產生。Feb.2004影響靜電產生的因素--2物體運動時間物體初次或初期運動時，產生較大的靜電；重覆或持續運動時，產生的靜電較小。接觸面積及壓力物體接觸面積越大，靜電的產生越大；物體接觸面的壓力越大，靜電產生也越大。分離速度兩種物體分離速度越大，產生的靜電越大

5、。Feb.2004如何感測靜電靜電的測量單位：V(伏特)目測：火花產生(超出2KV)人體觸摸：(超出3.5KV)晶圓或產品表面有過多的particles最準確方式：靜電測試器Feb.2004如何消除靜電Coronadischarge尖端放電利用尖端放電產生正負離子，以中和方式消除表面上的靜電。Feb.2004如何消除靜電接地只適用在導體接地，非導體無法接地增加環境溼度無法在無塵室內增加溼度幅射型靜電消除限制在某些機台內尖端放電型靜電消除業界已廣泛使用多年Feb.2004如何消除環境周圍的靜電工作環

6、境清除絕緣體物品例如塑膠，壓克力等產品盡量利用防靜電容器(105~109Ω/SQUARE)在製程機台內部加裝靜電消除器(例如移動晶圓後)如機台外殼有面積廣大的壓克力或玻璃時，須消除所產生的靜電半成品儲存區(精密產品)須有防靜電設施人員，機台必須有接地措施盡量避免使用一般空氣槍，改用靜電消除空氣槍Feb.2004材質靜電產生特性Feb.2004靜電產生VS環境溼度靜電產生的方式靜電值在濕度10~20%靜電值在濕度65~90%經過地毯行走35,0001,500在塑膠地板行走12,000250使用普通塑

7、膠袋20,0001,200工人在工作台工作6,000100將IC從塑膠盒取出11,5001,000泡棉工作椅上工作18,0001,500Feb.2004ESDElectroStaticDischarge(ESD)ESDisthetransferofelectricalchargebetweentwobodiesatdifferentpotentials，eitherthroughdirectcontactorthroughaninducedelectricalfield.Feb.2004自然界靜電

8、放電現象Feb.2004人體靜電放電現象Feb.2004靜電的破壞靜電放電(ESD)產生高溫電位差，造成IC損壞發生在IC製程或使用中，熱崩潰，功能劣化。靜電吸引(ESA)微汙染，灰塵附著在線路上，造成短路光學工業，造成品質不佳成本問題，客戶抱怨，產品形象受損Feb.2004IC靜電耐電壓表DEVICETYPE靜電耐電壓(VOLTS)VMOS20-1800MOSFET100-200GaAsFET100-300EPROM100JFET140-7000SAW150-500OP-AMP1