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1、长春理工大学本科毕业设计编号本科生毕业设计可见与近红外超宽带分光膜的设计与制备ResearchonDesignandManufacturingTechniqueofUltra-widebandBeamsplitterforVisibleandNear-InfraredWavelengths学生姓名陈博临专业光电信息工程学号100212630指导教师付秀华学院光电工程学院二〇一四年六月长春理工大学本科毕业设计毕业设计（论文）原创承诺书1．本人承诺：所呈交的毕业设计（论文）《可见与近红外超宽带分光膜的设计与制备》，是认真学习理解学校的《长春理工大学本科
2、毕业设计（论文）工作条例》后，在教师的指导下，保质保量独立地完成了任务书中规定的内容，不弄虚作假，不抄袭别人的工作内容。2．本人在毕业设计（论文）中引用他人的观点和研究成果，均在文中加以注释或以参考文献形式列出，对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体均已在文中注明。3．在毕业设计（论文）中对侵犯任何方面知识产权的行为，由本人承担相应的法律责任。4．本人完全了解学校关于保存、使用毕业设计（论文）的规定，即：按照学校要求提交论文和相关材料的印刷本和电子版本；同意学校保留毕业设计（论文）的复印件和电子版本，允许被查阅和借阅；学校可以采用影印、缩印或其他
3、复制手段保存毕业设计（论文），可以公布其中的全部或部分内容。以上承诺的法律结果将完全由本人承担！作者签名：年月日长春理工大学本科毕业设计摘要光学薄膜技术作为一种在红外、激光及航天等高新技术领域中得到广泛应用的关键技术，其进步和发展对于促进仪器微型化可以起到十分重要的作用。分光膜作为光学薄膜的一种，在激光器、光电显示和光学存储等典型光电技术领域中不可或缺，其中超宽带分光膜更是受到业内广泛关注。为了制备出性能优良的超宽带分光膜，本课题从镀膜材料特性、膜系设计、制备工艺和误差分析等方面展开了深入研究。首先在膜料的选取上，通过比较分析不同材料的物理、化学、
4、光学和机械特性，最终选用TiO2和SiO2两种常用膜料来镀制400~800nm分光膜。然后利用TFC膜系设计软件，根据多层膜理论，对由TiO2和SiO2两种材料组成的分光膜进行了模拟设计。最后，总结出镀制此类超宽带分光膜的关键工艺要素，对影响薄膜光谱和机械性能的因素进行了分析，筛选出主要影响因子，最终得出解决问题的妥善方法，给出了实验数据和测试结果。对实验结果及误差来源的分析表明，制备的超宽带分光膜能够满足课题要求。关键词：超宽带分光膜膜系设计工艺参数I长春理工大学本科毕业设计AbstractTheopticalfilmtechnologywhic
5、hhasbeenwidelyusedasakeytechniqueinsuchstate-of-the-artareasasinfrared,laser,andaerospace,isplayingasignificantroleinpromotingtheminiaturizationofequipmentwithitsprogressanddevelopment.Asonekindoftheopticalfilm,beamsplitterisanessentialpartintypicalfieldsofoptoelectronictechno
6、logy,e.g.,lasers,opticaldisplay,andopticalstorage.Particularly,theultra-widebandbeamsplitterhasbeenextensivelyconcernedbyexpertsintheresearcharea.Inordertoprepareanultra-widebandbeamsplitterwithhighperformance,almostallofaspectsrelevanttothisissue,includingthecoatingmaterialpr
7、operties,schemeoffilmsystemdesign,preparationprocess,anderroranalysis,havebeendeeplyinvestigatedinourresearchproject.Firstly,astotheselectionoffilmmaterials,bycomparingandanalyzingamongvariousmaterialswithrespecttotheirphysical,chemical,optical,andmechanicalproperties,TiO2andS
8、iO2,twokindsoffilmmaterialsincommonuse,havebeenfinallychosenf
