近红外夜视系统抗腐蚀镜片增透膜的设计与制备

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1、编号本科生毕业设计近红外夜视系统抗腐蚀镜片增透膜的设计与制备DesignandFabricationofCorrosion-resistantAntireflectionCoatingonNear-infraredNightVisionSystem学生姓名李敏专业光电信息工程学号100212601指导教师付秀华学院光电工程学院二〇一四年六月毕业设计原创承诺书1．本人承诺：所呈交的毕业设计《近红外夜视系统抗腐蚀镜片增透膜的设计与制备》，是认真学习理解学校的《长春理工大学本科毕业设计工作条例》后，在教师的指导下，保质保量独立地完成了任务书中规定的内容，不弄虚作假，不抄袭别人的工

2、作内容。2．本人在毕业设计中引用他人的观点和研究成果，均在文中加以注释或以参考文献形式列出，对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体均已在文中注明。3．在毕业设计中对侵犯任何方面知识产权的行为，由本人承担相应的法律责任。4．本人完全了解学校关于保存、使用毕业设计的规定，即：按照学校要求提交论文和相关材料的印刷本和电子版本；同意学校保留毕业设计的复印件和电子版本，允许被查阅和借阅；学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存毕业设计，可以公布其中的全部或部分内容。以上承诺的法律结果将完全由本人承担！作者签名：年月日长春理工大学生本科毕业设计摘要增透膜是光学薄膜中应用最广、产量最大

3、的膜系，被广泛应用于农业、工业、医学、军事、航空航天等领域。为满足现代光学仪器尤其是近红外夜视系统等对抗腐蚀增透膜的需求，本文选用化学性质稳定、抗腐蚀性强的作为高折射率材料，以耐磨抗腐蚀的作为低折射率材料，以K9玻璃为基底，设计制备了波段范围内的宽带增透膜。根据双有效界面设计原理，利用TFC软件以HL为基础膜系进行膜系设计。采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法进行镀膜，通过多次实验，对真空度、电子束流、蒸发速率、充氧量等工艺参数进行调整，镀制薄膜样品，并利用分光光度计对镀制样品的透过率进行检测，得到透过率光谱曲线，在规定波段光谱平均透过率达98.5%以上，满足设计要求。最后对

4、膜层进行误差分析，并提出改进的可行性措施。关键词：光学薄膜增透膜电子束蒸发离子辅助沉积1长春理工大学本科毕业设计AbstractAntireflectionfilmwhichisthethemostwidelyusedandthelargestoutputthinfilmhasbeenwidelyusedinthefieldsofagricultural,industrial,medical,military,aerospaceandsoon.Inordertomeetthecorrosionresistantantireflectionfilmneedsofmoderno

5、pticalinstruments,especiallythenear-infrarednightvisionsystems,wechoosewhichhasgoodchemicalstabilityandcorrosionresistanceasthehighrefractiveindexmaterialandwiththecharacterofwearableandcorrosionresistanceasthelowrefractiveindexmaterialtodepositthebroadbandantireflectioncoatingontheK9subst

6、ratewithwavelengthrangebetween.ThestructureisdesignedbyTFCsoftwarewithdoubleefficiencyinterfacetheorybasedontheHLFilm.Weadoptelectronicbeamingvacuumdepositingmethodwiththeaidofionassistantdepositionsystemstomakethecoating.Byadjustingandimprovingtheoptimizingtechnicalparameterssuchasthedegr

7、eeofvacuum,electronbeam,evaporationrateandoxygenationintheexperiments,wedepositthefilm.Andmeasuredthetransmittanceofthecoatingwiththespectralphotometer,gotthespectrumcurvesofthecoating.Wefoundthat,theaveragetransmittanceisover98.5%throughwavelength.Thatmeansth