基于Cr金属薄膜的低反射近红外黑膜的制备与光学性能

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1、第32卷第5期闽江学院学报Vol．32No．52011年9月JOURNALOFMINJIANGUNIVERSITYSep．2011基于Cr金属薄膜的低反射近红外黑膜的制备与光学性能张妹玉(闽江学院物理学与电子信息工程系，福建福州350108)摘要:在光通讯分光器件中，光被分光后，总是存在一部分光无法被利用，成为对系统有害的杂散光，要求被完全吸收，同时要求其不能由于反射沿原光路返回，影响前级元件的性能．这就要求制备一种近红外黑膜，既要完全吸收光波，同时又不存在反射光．在以Cr金属膜为基础，在工作波段1100～1650nm之间，设计了一种低反射近红外吸收膜，并采用

2、离子束辅助蒸发技术在玻璃基底上制备了此黑膜，采用分光光度计测量了其透光率与反射率，透光率达到－32dB以下，表面反射在1100～1650nm之间小于0．5%．采用3M600P胶带对薄膜的附着力进行了测试，薄膜附着力良好．实验结果表明该膜系完全达到高吸收和低反射的黑膜使用要求．关键词:黑膜;低反射;Cr金属膜中图分类号:O484文献标识码:A文章编号:1009－7821(2011)05－0028－03Fabricationandopticalpropertiesofnearinfraredblackcoatingwithlowreflectivitybasedo

3、nCrmetalcoatingZHANGMei-yu(DepartmentofPhysics＆ElectronicInformationEngineering，MinjiangUniversity，Fuzhou，Fujian350108，China)Abstract:Intele-communicationbeamsplittingdevice，thereisalwayspartoflightbeenabandonedaftersplitting，whichmaybebecometheharmfulscatteringlightandshouldbeabsor

4、bed100%．Andsuchlightshouldnotreturnalongthelightpath，whichwillaffecttheprioritycomponents’performance．So，thisrequiresfabricatingonekindofblackcoatinginnearinfraredregion，whichnotonly100%absorbthelight，buthasverylowreflectivity．Inthispaper，basedonCrmetalcoating，between1100－1700nm，one

5、kindofnearinfraredblackcoatingwithverylowreflectivitywasdesignedandfabricatedbyionbeamassistedelectronbeamevaporation．ThetransmissionandreflectivityweremeasuredbyShimadazuUV－3600spectrometer，andthetransmissionislowerthan－32dB;thereflectivityislowerthan0．5%be-tween1100nmand1650nm．By3

6、M600tape，thecoating’sadhesionwastestedandtheresultsshowthatcoatinghavegoodadhesionperformance．Sothisblackcoatinggetstothetargetofblackcoatingwithhighabsorptionandverylowreflectivity．Keywords:blackcoating;lowreflectivity;Crmetalcoating黑膜是指对光完全不透射的膜，在光学与光通讯的应用中通常是采用黑色吸光油漆作为黑膜，比如用在光学机械

7、件表面和光学件表面用来吸收杂散光和废弃的光．但在某些特殊用途，比如真空应用，苛刻环境，高［1］稳定性能要求下，黑色吸光膜由于大多是有机物填充吸光材料，会在真空中放气，且容易随时间衰减，难以满足高稳定性要求．此时就需要制备满足这些条件的黑膜．在此背景下，通常采用金属膜作为吸收层来制备［2－5］黑膜，如LCD用像素隔绝黑条和太阳能电池用吸收层．但采用金属膜作为吸收层，膜层本身的反射率相对比较高，达不到完全消除杂散光与废弃光的目的．而黑膜要求既具有低的透过率，同时又需要具有很低的表面反射率．如在光通讯分光器件应用中，光被分光后，总是存在一部分光无法被利用，需要废弃，

8、要求废弃光被完全吸收，不能造成杂散光，