光学反射膜的设计与制备 光学

《光学反射膜的设计与制备 光学》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、光学器件减反射膜的设计与制备摘要光学薄膜作为现代光学的一个重要分支，已被广泛应用于工业、农业等各个领域，其在人们的日常生活中起着越来越重要的作用。减反射膜作为光学膜中最重要的一种，它的发展也得到了更广泛的关注。本文主要通过对光学薄膜特性的理论计算，包括薄膜的基本理论，单层薄膜的特性计算和多层薄膜的特性计算，来对光学薄膜的特性达到一定程度的认识。并通过对光学减反射膜的设计原理、选材及流程的掌握来对减反射膜有一个更深的了解。最终利用直流反应溅射法制备TiO2薄膜，摸索其制备工艺。利用透射光谱，采用“包络法”计算薄膜的折射率、厚度、吸收系数和消光系数，从而分析薄膜的

2、光学性能。【关键词】光学薄膜光学减反射膜磁控溅射原理TiO2薄膜21Thedesignandpreparationoftheanti-reflectioncoatingonopticaldeviceAbstractopticalfilmswhichactasanimportantbranchofmodernopticshasbeenwidelyusedinagriculture,industryandotherareas.Itplaysanincreasinglyimportantroleinpeople’sdailylife.anti-reflectionc

3、oatingasthemostimportantkindofopticalfilmswhichdevelopmentalsohadbeenwidelyconcerned.Thisarticlemainlyontheoptictheoryofthefilm,includingfilm'sbasictheory,thecalculationofthecharacteristicsofthesinglelayerfilmandmultilayerfilmsinordertoknowmoreaboutopticalfilm’snature.Andthroughmast

4、ertheopticalanti-reflectioncoating’designprinciples、materialofchoiceandprocesstoknowmoreknowledgeofanti-reflectioncoating.EventuallyusingdirectresponsefromthelawcoveredtomakeTiO2film,andtoexploreitsworkmanship.Byusingspectrumandadoptingthewayofdevelopmenttocalculatetherefraction、thi

5、ckness、Absorptioncoefficientandcoefficienttoanalysisthenatureoffilms.【Keywords】opticalfilmopticalanti-reflectionradiationprincipleTiO2film21绪论光学薄膜作为现代光学的一个重要分支，己经被广泛应用于工业、农业、建筑、交通运输、医学、军事、天文、红外物理学、激光技术等领域，在人们的日常工作和生活中起着越来越重要的作用。在科技日新月异的今天，现代通讯、能源利用、宇航技术等领域的飞速发展，为光学薄膜的发展提出了更高的要求。自70年

6、代以来，薄膜技术得到突飞猛进的发展。无论在学术上，还是在实际应用中都取得了丰硕的成果。薄膜技术已经成为当代真空技术和材料科学中最活跃的研究领域，在新技术革命中具有举足轻重的作用。薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品的全方位开发与应用。从发展趋势看，国内外薄膜产业方兴未艾，多种迹象表明。薄膜技术在近期内，将有较大的突破。从而必将带动薄膜产业更大的发展。十余年来，在薄膜技术飞速发展，工业上有许多更大突破的同时，伴随有各种类型的新型材料的开发，新功能的发现不断。所有这些都蕴藏极大的发展潜力，并为新的技术革命提供可靠的基础。现在薄膜技术和薄膜材料除大量用于

7、电子器件和大规模集成电路之外，还可用于支取磁性膜及磁记录介质、绝缘膜、电介质膜、压电膜、光学膜、光导模、传感器膜，耐磨、抗蚀、自润滑膜，装饰膜以及各种特殊需要的功能等。减反射薄膜作为光学薄膜中最重要的一种，它的发展也得到了更广泛的关注，减反射薄膜的实用研究成为一项极有意义的工作。减反射膜，用于减少光学元件表面的反射，增加工作波段内光线的透过率。20世纪30年代发现的减反射膜促进了薄膜光学的早期发展。对于推动技术光学发展来说，在所有的光学薄膜中，减反射膜起着最重要的作用。直至今天，就其生产的总量来说，它仍然超过所有其他类型的薄膜。传统的光学玻璃行业如眼镜、照明、

8、汽车玻璃，以及现代光纤通信、光电仪器如