红外反射膜的制备研究

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1、摘要本文在讨论红外反射膜的起源及发展的基础上，分析并比较了各种红外反射膜的优缺点，从而确定出制备红外反射膜的基本方案。即利用溶胶一凝胶法制备Ⅲ02和si02薄膜，将其分别作为高低折射率膜组合成具有红外反射作用的介质膜系，即为红外反射膜。利用XRD、SEM和椭圆偏振光谱测试对币02和Si02薄膜进行晶体结构、表面形貌、膜层厚度和光学常数的检测分析。结果表明；所制备出的啊02薄膜在500V热处理后形成锐钛矿结构，在700℃热处理后形成金红石相结构。晶粒尺寸约为60-100rim，且随着热处理温度的升高而增大，单层薄膜厚度约为50rim。波长大于800ri

2、m时，啊02薄膜的折射率在2．09．2．20左右，消光系数约为0．026。Si02薄膜的厚度为456nm左右，折射率在可见光波段约为1．28，并且随着波长的减小，折射率比较平缓的增大，当波长在250rim时，折射率为1．31。利用实验获得的数据，自编软件进行膜系设计。设计结果是一个在867nm～1614nm带宽范围内，平均反射率约为9"1．282％的红外反射膜系。关键词：红外反射膜Ti02薄膜Si02薄膜溶胶一凝胶法Abstract311地meritsanddemeritsofseveralkindsofinfzaredreflectivefilms

3、wereanalyzedandcomparedonthediscussionaboutthe嘣ginanddevelopmentofinfr缸edreflectivefilms．S01．gelmethodwaschosetomakethebasisfilms：Si02and啊02thmfilms,whichWererespectivelyusedasalowrefle虻-tivityindexmediaandahi曲reflectivityindexmedia．XRD、SEMandSP(spectrosoopicellipsometer)wereus

4、edtomeasurethesamples．Theresultsshowthatthe币02thinfilmisanatasewhenheatedat500℃andbecomesfutilewhenheatedabove700℃．Thesizeofcrystallitesisapproximately60-100nm．ncthicknessofsinglelayerTi02thinfilmsisapproximately60rimTheSPresultsrevealthattherefractiveindexandtheextinctioncoeff

5、icientofTi02thinfilmsinwavelengthmorethan800nmaleabout2．09-2．20and0．026．respectively．1rhethicknessofsinglelayerSi02thinfilmsisabout456nm．AnditsrefractiveindexiSabout1．28invisiblespectrum．whichincreasesmoothlywiththedecreaseofthewavelengthandbecome1．31at250rimwavelength．Aninfrar

6、edreflectivefilmisdesignedbyself-programsoftwareonthebasisofthedataobtainedbytheexperiments．Theresultachievedisainfraredreflectivefilmofanaveragereflectiveindexof97．282％between867nmand1614rim．KeywordvInfraredreflectivefilmsTi02thinmmSi02thinfilmSol-Gel创新性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进

7、行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果；也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。关于论文使用授权的说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。本人保证毕业离校后，发表论文或使用论文工作成果时署名单位仍然为西安电子

8、科技大学。学校有权保留送交论文的复印件，允许查阅和借阅论文：学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影