基于dmd的数字光刻技术研究

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2、机械与槪理研究所学位类别；理学硕±一；光学举科专业—＇．．＇＇培养单位＇：中国科学焼长春光学精密化械与物理研究所，二，■—、Ｖ，＼．＊Ｖ■—气＇—２０－：１６年３月＊＿－＇、＊－．？．－一Ｖ；．．．独创性声明本人郑重声明：所提交的学位论文是本人在导师指导Ｋ独立进行研巧工作所取得的成果，论文中不包含其他人已经发表或。据我所知，除了特别加Ｗ标注和敦谢的地方外撰写过的研究成果。对本人的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中作了明碗的说明学

3、。位本声论明文的法律结果由本人承担。作者签名：爲鸣日期：２刮／＞．＾Ｉ学位论文使用授权书研究本所学位论文作者完全了解中国科学院大学及中国科学院长春光学精密机械与物理密机械有关保留、使用学位论文的规定，目Ｐ；中国科学院大学及中国科学院长春光学精版与物理研究所有权保留并向国家有关部口或机构送交学位论文的复印件和电子，允许论文被查阅和借阅。本人授权中国科学院大学及中国科学院长春光学精密机械与物理研究所可ｙ？将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可ａ采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编本学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授

4、权书）学位论文作者签名廊指导教师签名；呀Ｈ期备７Ｈ期：苗Ａ‘７．业１Ｉ工学化论文作者毕后去向；通作讯地单址位；电话：；邮编；密级:硕士学位论文基于DMD的数字光刻技术研究作者姓名：熊峥指导教师:卢振武研究员中国科学院长春光学精密机械与物理研究所学位类别:理学硕士学科专业:光学培养单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所2016年3月ResearchonDMD-basedDigitalPhotolithographyByZhengXiongADissertationSubmittedtoTheUniversityofChin

5、eseAcademyofSciencesInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofScienceChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysicsChineseAcademyofSciencesMarch,2016摘要基于DMD的数字光刻技术研究熊峥（光学）指导教师：卢振武研究员摘要光刻技术作为半导体加工领域的核心技术之一，它经历了接近/接触光刻、投影光刻、步进光刻到扫描光刻的发展历程，然而如何降低光学掩模在制作和加工方面的成本，一直困扰着研究人员。近

6、年来，无掩模光刻技术得到迅猛的发展，基于数字微镜器件(DMD)的光刻技术受到微纳加工及相关领域的普遍关注。DMD具有灵活、并行和高速等优点，它替代传统的光学掩膜，降低了传统掩膜在制作和加工方面的困难和成本，简化了传统光刻技术的繁琐工艺流程，提高了光刻系统的加工效率，在小型化、高精度的光刻设备中发挥着重要作用，基于DMD的数字光刻设备将成为下一代微细加工领域的重要工具之一。本文围绕基于DMD的光刻系统，开展了光刻技术的研究，主要研究了DMD的衍射特性的建模及其应用，系统误差的分析与校正技术，这些技术的研究对于后续的实验工作具有指导意义。主要研究内容包括：(1)基于傅里叶分析，

7、建立了DMD衍射的数学模型；并将该模型用于分析系统的误差，主要分析了DMD制造工艺的误差和光刻系统的误差对衍射效率的影响；(2)在光学软件中建立了DMD的衍射模型，将其用于曝光结果的分析；并重点分析了离焦时的曝光情况，分析的结果提供了一种标定离焦方向的方法；(3)分析了照明不均匀性对曝光线宽的影响，并在扫描曝光模式下提出了一种校正技术；分析了系统误差，包括畸变、倾角误差和不匹配误差，对曝光光斑位置的影响；并根据误差之间的耦合关系，提出了综合的校正方法。关键词：DMD，数字光刻技术，衍射，误差校正IABSTRACTR