sno和mn-sno薄膜制备及其物性研究

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1、０４６９单位代码：１０４２２分类号：２０１３Ｕ４２５密级：：学号义／＞全ＳＨＡＮＤＯＮＧ欄ＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ论文题目ＳｎＯ和Ｍｎ－細Ｏ巧膜制备及其物性研巧：ＰｒｅａｒａｔｉｏｎａｎｄＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓＳｔｕｄｙｏｆ化ｔ細０ｐ－ＴｈａｎｄｉｎＦｉｌｍｓＭｎ細Ｏ作者姓名许震巧培养单位物理学院专业名称微电子学与固体电子学齡＃娜指导教师代由巧助備合作导师２０１６年５月２０日分类号：口的ｙ单位代码：

2、１０４２２密级：／学号（Ｊｉ寺贼八ｆ、ｔ顿ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ论文题目－：如禾飞ＷＩ化齡心、約做辦贿倘’＾Ｗ仍化ｅｓ昨細！如巧＾Ｗ－ｆＵｎＳｎＯｒｈ！Ａ作者姓名巧￥ｊｉ培养单位俏嫂《惦专业名称指导教师Ｉ《玻中合作导师化东《〇０ｉＵ年月Ｚ日原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个

3、人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。Ｗ日期＇论文作者签名：巧乘：Ｍ５、ｌ〇关于学位论文使用授权的声明本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。保密论文在解密后应遵守此规定（）论文作者签名：导师

4、签名日期：＾１￡＿＿山东大学硕±学位论文目录摘要１ＡＢＳＴＲＡＣＴ３一第胃绪论５一第节研究背景５１丄１自旋电子学研究进展５１丄２磁性半导体的研究进展６Ｕ．３研究热点及现象８第二节理论模型９第Ｈ节论文选题思路及研究内容１０第二章样品的制备技术与测试分析仪器．１２一第节脉冲激光沉积技术（ＰＬＤ）１２２丄１脉冲激光沉积的原理１３２丄２脉冲激光沉积的优缺点１５２丄３简介实验室激光脉冲沉积系统１７第二节黄膜分析测试技术２０２．２．１Ｘ射线衍射仪

5、２０２（．２．２交变梯度磁强计ＡＧＭ）２２２．２．３双光束紫外可见分光光度计２３２．４２４．２００型通用型源表２５＝第章ＳｎＯ薄膜制备及其物性研究２６一ＳｎＯ的薄第节膜生长２６３丄１範材制备２６３丄２薄膜的制备２７第二节ＳｎＯ巧膜的阻变测试２９３２第Ｈ节小结－第四章ＭｎＳｎＯ蕉膜制备及其物性表征３３Ｉ山东大学硕±学位论文一第节Ｍｎ慘ＳｎＯ巧膜制备３３第二节Ｍｎ惨ＳｎＯ的蹈性测量３４Ｈ节Ｍｎ－ＳｎＯ巧膜的光学测呈第３７第四节小结％第五章总

6、结与展望３９致谢４１参考献４３１１山东大学硕±学位论文ＣＯＮＴＥＮＴＳＣｈｉｎｅｓｅａｂｓｔｒａｃｔ１Ａｂｓｔｒａｃｔ．．．．３ＣｈａｐｔｅｒｌＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ５Ｓｅｃｔｉｏｎ１Ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ５１．１．１Ｐｒｏｒｅｓｓｉｎｓｉｎｔｒｏｎｉｃｓ５ｇｐ１．１．２Ｐｒｏｇｒｅｓｓｉｎｍａｇｎｅｔｉｃｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ６１．１．３Ｈｏｔｔｏｉｃｓ８ｐＳｅｃｔｉｏｎ２Ｔｈｅｏｒｉｔｉｃａｌｍｏｄｅｌ９Ｓｅｃｔｉｏｎ３

7、Ｉｄｅａｓａｎｄｃｏｎｔｅｎｔｓｏｆｔｈｉｓｔｈｅｓｉｓ１０Ｃｈａｐｔｅｒ２Ｓａｍｐｌｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄｔｅｓｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ１２Ｓｅｃｔｉｏｎ１Ｐｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＰＬＤ）１２２．１．１Ｔｈｅｒｉｎｃｉｌｅｏｆｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｏｓｉｔｉｏｎ１３ｐｐｐｐ２．１．２Ｔｈｅａｄｖａｎｔａｇｅｓａｎｄｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ１５

8、ｐ２．１．３Ｄｉｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｏｆｌａｂｏｒａｔｏｒｙｕｌｓｅｌａｓｅｒｄｅｏｓｉｔｉｏｎｓｓｔｅｍ１７ｐｐｙＳｅｃｔｉｏｎ２Ｔｈｉｎｆｉｌｍａｎ