p型sno薄膜晶体管的制备及性能研究

《p型sno薄膜晶体管的制备及性能研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、ｋＶ托‘．－乂．片＇？－？Ｖ－■■ＴＮ４单位代码＞分类号：：１０４记，：２０１Ｍ１４３４密级：公巧学号＞嚇ｌｆ、ｔＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ（专业学位）论文题目Ｐ型細０薄膜１１体？的剩备及牲能研穷：：Ｔｈｅｓｔｕｄｏｎ化ｅ化ｂｎｃａｔｉｏｎａｎｄｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｙｐ？ｅｔｙｐ細ＯＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓ化ｒｐ－／作著姓名兄度。皆￣￣＞．，－培养单位轉理学巧髮、

2、，、？专业名称集成电巧工程弘－；指导教师巧巧巧教授？．．Ｖ．？矣、．－心机＇合作导师一＿皆Ｃ．裸若ｉｙ．Ｉ．一’＇．叫＇；；１’一－１？－．．＾．．：叮‘，节２Ｍ６年５月７曰二综如；■一。，．Ｖ一－．－Ｖ娘’＊■＝ｋＳ－＇．■＇丫１二：；巧＾分类号：了Ａ／午单位代码：１０４２２密级：学号：＾＾柳半八ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ（专业学位）论文题目：１＾ｐ雙ＳｎＯ

3、鸯暖酿东毫紙鮮备良他驚种－讀心ｒＵｏｖ＼ｔＵ户个呼－了的＂５１＾６〇广ｉｅＳｒｔＱＷｍｐ句｜作者姓名培养单位辦７恶赁稔专业名称慶放电■穗Ｉｆｅｌ指导教师喪後＾勒繼合作导师从山年玉月７日原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名心成心７：如藤日期；关于学位论文

4、使用授权的声明本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。保密论文在解密后应遵守此规定（）、论文作者签名心惠导师签名王、：丢震日期：７山东大学硕±学位论文目录摘要ＩＡｂｓｔｒａｃｔＩｌｌ一第章绪论１１．１引Ｂ１１．２薄膜晶体管的研巧概述与应用２１３３．本论文主要工作第二章

5、Ｐ型金属氧化物材料及器件的研究概述５２１．型金属氧化物半导体材料的分类５Ｐ２丄１型渗杂的普通氧化物５Ｐ２丄２ｐ型铜铁矿系氧化物ＣｕＭ〇２５２丄３型ＳｎＯ金属氧化物７Ｐ２．２型細０薄膜晶体管的发展及研究概述１０Ｐ２．２．１型ＳｎＯ薄膜晶体管发展历史１０Ｐ２．２．２型ＳｎＯ薄膜晶体管结构及工作原理１４Ｐ２．２．３型ＳｎＯ薄膜晶体管器件参数分析１５Ｐ第Ｈ章型ＳｎＯ薄膜晶体管制备方法１７Ｐ３．１实验设备１７３丄１射频磁控繊射系统１７３丄２电子束蒸发系统２０３．１．３Ｘ射线衍射

6、系统２２３丄４扫描电子显微镜系统．２３３．２型ＳｎＯ薄膜晶体管制备工艺２５Ｐ３．２．１工芝流程图２５３．２．２衬底清洗２６３．．２３制备Ｐ型如０ＴＦＴ的沟道层２７３．２．４制备Ｐ型ＳｎＯ薄膜晶体管的电极２９３．２．５型ＳｎＯ薄膜晶体管的退火处理．巧Ｐ第四章各个参数对Ｐ型ＳｎＯ薄膜晶体管的影响３１ｉ山东大学硕±学位论文４．１退火处理对ＳｎＯ薄膜的影响３１４．２瓣射功率对ＳｎＯ薄膜的影响３４４３型ＳＯ薄膜晶体管的影响３５．沟道层厚度对Ｐｎ４．４金属电极对Ｐ型ＳｎＯ薄膜晶体管的影响

7、別４．５ＳｈａｄｏｗＭａｓｋ对Ｐ型ＳｎＯ薄膜晶体管的影响４０第五章总结与展望４３５．１结论４３５２展望４４．致谢４５参考文献４６山东大学硕±学位论文ＣＯＮＴＥＮＴＳＡｂｓｔｒａｃｔＣｈｉ打ｅｓｅＩ（）ＡｂｓｔｒａｃｔＩｌｌＣｈａｐｔｅｒ１Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ１１１．１Ｏｖｅｒｖｉｅｗ１．２ＲｅｓｅａｒｃｈｓｔａｔｕｓａｎｄａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｏｆｔｈｅｔｈｉｎｆｉｌｍｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｓＴＦＴ）２（１３Ｍａｋｈｉ．ｉｎｗｏｒｏｆｔｓａｅｒ