GaN薄膜的两步法制备及其物性转变的研究.pdf

《GaN薄膜的两步法制备及其物性转变的研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第29卷第5期无机化学学报Vo1．29No．52013年5月CHINESEJOURNALOFINORGANICCHEMISTRY1019．1024GaN薄膜的两步法制备及其物性转变的研究梁建刘海瑞，1I王晓宁112董海亮12贾伟l卫贾虎生l，2许并社l卫1太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原0300241(太原理工大学材料科学与工程学院，太原030024)摘要：本实验通过水浴加热和简单化学气相氨化两步法，在旋涂有zn0的衬底上成功合成了由排列整齐纺锤体形貌的GaOOH构成的薄膜，然后在950℃下对样品进行氨化得到由排列整齐纺锤体组成

2、的GaN薄膜。然后对氨化前后样品的形貌．结构和光学性能分别通过FESEM、EDS、TEM、XRD和PL谱进行了表征。结果表明：水热生成的GaOOH薄膜是由纺锤体形状GaOOH紧密排列形成，该纺锤体形状GaOOH有直径大约600nm，长约为1．52m。氨化前后样品的形貌没发生太大的变化：但晶体结构由正交晶系相GaOOH转变为六方纤锌矿GaN；而且发光峰也由较宽的绿光峰转变为中心为365nm的蓝光峰．这主要是由于样品由正交晶系相GaOOH转变为六方纤锌矿GaN引起的。最后对排列整齐的锤体形构成的GaOOH薄膜的形成机理以及GaOOH向GaN的转变过程发生

3、的化学反应做了简单的探讨和分析关键词：GaOOH薄膜；GaN薄膜；水热方法；氨化中图分类号：0649；TN304．23文献标识码：A文章编号：1001．4861(2013)05—1019．06DOI：10．3969~．issn．1001—4861．2013．00．121FabricationofGaNFilmbyTwoStepMethodsandTransformationofPhysicalPropertiesLIANGJian，’。LIUHai—Rui二WANGXiao-Ning。DONGHal-Liang卫JIAWei工JIAHu-ShengX

4、UBing-She。(KeyLaboratoryofInterfaceScienceandEngineeringinAdvancedMaterials(TaiyuanUniversityofTechnology),MinistryofEducation，Tdyuan030024，China)(2CollegeofMaterialsScienceandEngineenng,TaiyuanUniversityofTechnology,Taiyuan030024,China)Abstract：TheGaOOHfilmcomposedofspindle．sh

5、apedGaOOHmicroparticleswasfirstlyfabricatedbyhydrothermalmethodonSisubstratespunwithZnOparticles，andthenammoniatedat950oCbyCVDmethodtogiveGaNfilm．Themorphologies．crystalstructureandopticalpropertiesofthesamplesbeforeandafterammoniationwerecharacterizedbyFESEM。EDS，TEMXRDandPLana

6、lyses．TheresultsshowthattheGaOOHfilmwascomposedofspindle—shapedmicrorodswithadiameterof600nmandalengthofabout1．5-2m．AmmoniationdidnotchangethemorphologiesofGaOOHfilmbutconverteditscrystalstructurefromorthorhombicphaseofGaOOHintowurtziteGaN；andthepositionofPLpeakatthegreenlightr

7、angeforGOOHfilmsshiftedtobluerangewithapeakat365nm，whichmayberelatedtothetransformationofcrystalstructure．Finally，theformationmechanismofGaOOHfilmandthechemicalreactionduringthetransformationfromGaOOHfilmtoGaNfilmwereproposed．Keywords：GaOOHfilm；GaNfilm；hydrothermalmethod；ammoni

8、ation收稿日期：2012—10—18。收修改稿日期：2012．12．25。高校长江学者和创新团~A(No