锑化物的外延生长及其物性研究

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1、分类号：——UDC：密级：编号：锑化物的外延生长及其物性研究一1一●·‘●1●‘Eptaxla上growthofantimonycompoundsand1tSphyslcalpropertiesresearch学位授予单位及代码：篮查理王太堂(!Q!墨鱼2研究方向：圭昱笠邀堂昼堇盔墨塑堡申请学位级别：亟±论文起止时间：迎2．11—--—2013．12长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《锑化物的外延生长及其物性研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个

2、人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：斗年j月丑日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNXI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存

3、和汇编学位论文。作者签名：趣导导师签名：业年j月■日业年玉月斗日摘要本文主要研究内容是GaSb的同质／异质外延生长和材料的表征和物性分析，利用同质外延指导异质外延的生长。具体如下：采用分子束外延在GaAs／GaSb衬底上同质／异质外延上生长GaSb薄膜，在外延生长过程中，我们利用RHEED对生长过程进行监测，记录下各种衍射震荡图，确定了生长速率、III／V束流比，并且对生长的各个参数进行了优化；然后采用X射线双晶衍射、原子力显微镜、扫描电镜、PLmapping等设备对外延片的质量进行光学、电学、形貌方面的测试。结果表明GaSb异质外延外延片的结晶质量和表

4、面形貌效果良好，并且电学质量也达到了预期的目标。得到的结论是：采用GaSb作为缓冲层的最佳生长速率是414nm／h，AFM表面形貌得到表面粗糙在0．6个nnl左右，从PL光致发光可得到光峰强度在O．726eV，所需的能量比较小，GaSb薄膜从发光光谱这个角度来讲，是非常理想的。最后用HALL测试对材料的掺杂和衬底温度进行了优化。关键词：分子束外延异质外延锑化物高能电子衍射仪霍尔测试ABSTRACT1hemaincontentsofthisarticlearehomogeneousGaSb

5、hetero—epitaxialgrowthandcharacte

6、rizationandanalysisofphysicalpropertiesofmaterials，theuseofhomoepitaxialguidanceheteroepitaxialgrowth．Asfollows：usingmolecularbeamepitaxyonGaAslGaSbsubstratesgrownonGaSbfilmhomogeneity

7、heterogeneityepitaxy,theepitaxialgrowthprocess，weuseRHEEDmonitoringofthegrowthprocess，recordthe

8、variousshocksdiffractiondiagram，determinethegrowthrate，III／Vbeamratio，andthegrowthofthevariousparameterswereoptimized；thendouble．crystalX．raydiffraction．atomicforcemicroscopy,scanningelectronmicroscopy,PLmappingandotherequipmentonthequalityoftheepitaxialwaferoptical，electrical，mo

9、rphologyaspectstesting．TheresultsshowthattheeffectofthecrystallinequalityandsurfacemorphologyofGaSbhetero．epitaxialwaferisgood，andelectricalqualitytoachievethedesiredgoal．Theconclusionis：theuseofGaSbasthebestgrowthrateofthebufferlayeris414nm／h．AFMsurfacetopographyofthesurfaceroug

10、hnessobtainedinabout0．6nlnfromthePLpeakp