化学浴沉积法制备择优取向生长zno薄膜及物性研究

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1、万方数据东北大学硕士学位论文AbstracttheZnOnon-polarplane，hindering五，movingtothesubstmtesurface，resultinginafilmthicknessdecreases．Whentheconcentrationistoohigh,evenonlyasmallamountofthinfilmforms．Thisarticlealsoinvestigatedcrystalstructureandsurfacemorphologyofdifferentpreferredori

2、entationZnOthinfilmsbyXRD，AFMandSEMandfoundthat(100)preferredorientationand(100)and(110)preferredorientationhasasimilarmorphology,surfaceroughtlessof(110)preferredorientationthinfilmisthelargest,andsurfacerotlghrlessof(10])preferredorientationthinfilmisminimized．Also，

3、thesurfacewettabilitywasstudied，(110)preferredorientationthinfilmhasgoodhydrophobMty,however,followedbyhydrophobicityof(101)preferredorientationthinfilm．Thehydrophobicityof(100)preferredorientationand000)and(11o)preferredorientationthin．filmsispoor．Photoluminescencesp

4、ectraandUV-visiblespectroscopyindicatethatthecrystallinethinfilmshavingagoodqualityandhightrd／1smittance．Keywords：Zincoxide，Sol-Gelmethod,Chemicalbathdepositionmethod,Preferredorientation万方数据东北大学硕士学位论文目录目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·．ⅢAbstract⋯⋯．⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯．⋯⋯

5、⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯·V第1章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一11．1研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一11．2办O的性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯‘21．2．1晶体结构和基本性质⋯⋯⋯⋯IO．．．．I⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·22．2．1ZnO的电子能带及固有缺陷⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一41．3办O薄膜的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯‘51．3．1压电器件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

6、⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。61．3．2太阳能电池⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一61．3．3气敏元件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一71．4办O薄膜制备技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。71．4．1分子束外延法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一71．4．2磁控溅射法⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。71．4．3脉冲激光沉积法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯“81．4．4金属有机气相化

7、学沉积法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一81．5本论文的研究目的及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。92．1溶胶．凝胶技术基本原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。112．1．1S01．Gel法制备ZnO薄膜的生长机帝Ⅱ⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯’112．2．2S01．Gel法的工艺过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．13万方数据东北大学硕士学位论文目录2．2化学浴沉积法制备盈lo薄膜的基本原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·142．3表征方法及基本原理

8、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一162．3．1X射线衍射分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯162．3．2扫描电子显微镜分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯182．3．3原子力显微镜分析⋯⋯⋯⋯⋯