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时间:2019-02-24
《化学浴沉积法制备择优取向生长zno薄膜及物性研究》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、万方数据东北大学硕士学位论文AbstracttheZnOnon-polarplane,hindering五,movingtothesubstmtesurface,resultinginafilmthicknessdecreases.Whentheconcentrationistoohigh,evenonlyasmallamountofthinfilmforms.Thisarticlealsoinvestigatedcrystalstructureandsurfacemorphologyofdifferentpreferredori
2、entationZnOthinfilmsbyXRD,AFMandSEMandfoundthat(100)preferredorientationand(100)and(110)preferredorientationhasasimilarmorphology,surfaceroughtlessof(110)preferredorientationthinfilmisthelargest,andsurfacerotlghrlessof(10])preferredorientationthinfilmisminimized.Also,
3、thesurfacewettabilitywasstudied,(110)preferredorientationthinfilmhasgoodhydrophobMty,however,followedbyhydrophobicityof(101)preferredorientationthinfilm.Thehydrophobicityof(100)preferredorientationand000)and(11o)preferredorientationthin.filmsispoor.Photoluminescencesp
4、ectraandUV-visiblespectroscopyindicatethatthecrystallinethinfilmshavingagoodqualityandhightrd/1smittance.Keywords:Zincoxide,Sol-Gelmethod,Chemicalbathdepositionmethod,Preferredorientation万方数据东北大学硕士学位论文目录目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·.ⅢAbstract⋯⋯.⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.⋯⋯
5、⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯·V第1章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一11.1研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一11.2办O的性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯‘21.2.1晶体结构和基本性质⋯⋯⋯⋯IO....I⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·22.2.1ZnO的电子能带及固有缺陷⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一41.3办O薄膜的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯‘51.3.1压电器件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
6、⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。61.3.2太阳能电池⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一61.3.3气敏元件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一71.4办O薄膜制备技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。71.4.1分子束外延法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一71.4.2磁控溅射法⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。71.4.3脉冲激光沉积法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯“81.4.4金属有机气相化
7、学沉积法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一81.5本论文的研究目的及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。92.1溶胶.凝胶技术基本原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。112.1.1S01.Gel法制备ZnO薄膜的生长机帝Ⅱ⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯’112.2.2S01.Gel法的工艺过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..13万方数据东北大学硕士学位论文目录2.2化学浴沉积法制备盈lo薄膜的基本原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·142.3表征方法及基本原理
8、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一162.3.1X射线衍射分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯162.3.2扫描电子显微镜分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯182.3.3原子力显微镜分析⋯⋯⋯⋯⋯
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