半导体晶元厂厂务制程相关系统改进 (1)

《半导体晶元厂厂务制程相关系统改进 (1)》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、申请上海交通大学工程硕士学位论文半导体晶元厂厂务制程相关系统改进学校：上海交通大学院系：微电子学院学号：1052102137工程硕士：张云秀工程领域：软件工程（集成电路方向）导师Ⅰ：黄其煜导师Ⅱ：廖伟杰上海交通大学2008年3月8日半导体晶元厂厂务制程相关系统改进摘要厂务的气体、化学（包括CMP研磨液系统）和纯水系统为整条生产线提供气体、化学品和纯水，它们与芯片直接接触，所以被称为制程相关系统。制程相关系统的稳定与否直接关系生产线生产是否正常，所以，在现代晶元厂的建造成本中，制程相关系统的建设费用要占到一半以上的厂务建设费用。本课题根据作者在8英寸、12英寸晶元厂的实际建厂和运行经验

2、，系统介绍厂务制程相关系统中纯水和化学系统的组成、结构等各个方面，并针对一些制程相关系统的关键问题，尝试给出解决方案，主要内容如下：(1)纯水系统节水设计纯水系统设计往往只注重纯水回收率一个指标，但作者提出，应该在纯水系统设计，运行的各个阶段，系统的整个流程乃至全厂务系统中贯彻节水的观念。本文分四个方向进行探讨：A.纯水流程布置。B.流程中各步骤再生废水回收。C.非纯水系统排水回收至纯水系统。D.系统运行中废水的回收。贯彻以上四个方面的各项措施，以设计用量为90立方米/小时的纯水系统为例，经过改良的纯水系统夏天要比传统纯水系统多节水703立方米/天，冬天也要多节水683立方米/天左右

3、，不计入A、B、D项，仅C项就可以使纯水回收率由传统的65%提高到71%。(2)化学系统改进化学系统是与无尘室生产线紧密相联系的系统，因此，加强对无尘室设备的监控，改进关键系统的安全稳定性就成为化学系统的主要着力之处。作者提出了以下几条措施，一为要酸控制，有助于避免无尘室设备发生问题时的错误要酸；二为要酸时间计算，作者自己编写软件，大大提高了计算要酸时间的效率，方便了运转工作。三为DEV混酸系统流程改进，提出可以利用条形码把每桶25%DEV的具体浓度输入控制系统，更精确地控制加药量，从而更多地实现一次加药，提高混酸系统的效率。该方案正在申请专利，目前已获得专利号。本文对传统制程相关系

4、统提出了多方面的改善，这些措施有助于半导体晶元厂的正常生产运行和效益产能最大化，所有的这些研究成果对于我国晶元厂建设和产业健康发展，都具有非常重要的指导意义。关键词：制程相关系统化学供应系统可编逻辑控制器化学机械研磨研磨浆料纯水回收率TheImprovementontheFacilityProcessRelatedSystemsAbstractWhatFacilityGassystem,ChemicalDispenseSystem(includingSlurrySystem)andUPW(UltraPureWater)SystemsupplytoCleanRoomtoolswillc

5、ontactthewafersdirectly,sotheyarecalledFacilityProcessRelatedSystems.ThestabilityofFoundrymanufactureisgreatlydependedonthestabilityofProcessRelatedSystems,soinmodernFoundry,theconstructioncostofthemismorethan50%ofallfacilityconstructioncost.Thepaperisbasedontheauthor’sexperiencein8inchand12inc

6、hFoundry,willnotonlyintroducethestructurebutalsotrytogiveanswerstosomekeyproblemsinUPW&Chemicalsystemsasfollows,(1)WatersavinginUPWsystemComparetothetraditionalemphasisonWaterReclaimRateandtakeactionsaroundit,theauthorpointedoutthatwatersavingshouldbeUPW-system-wideorfacility-system-wide.Weshou

7、ldhavethewatersavinginmindfromthebeginningdesignstagetofinialsystemoperationstage.Thewatersavingmethodsaredividedinto4kinds,firstisonwater-savingprocess,followingisonRegenerationwastewaterreclaim,thirdisonotherdrainreclaimtoUPWsys