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1、半導體廠 廠務系統自動化劉聖元大綱控制系統分類半導體廠內自動化系統區分無塵室自動化系統簡介半導體廠務系統簡介廠務監控系統設計廠務系統自動化整合廠務系統管理Q&A控制系統分類DCS(DistributedControlSystem)PLC(ProgrammableLogicController)PAC(ProgrammableApplicationController)PC-BasedDCS架構圖DCS系統分散系統集中控制資料/資訊集中整合整合度高系統封閉,PLC架構圖PLC系統分散系統分散控制需整合系統統整各系統介面較多資料須整合系統整合管理系統封閉,但現
2、行系統多有開放的架構與介面PACPACPAC系統類似於PC-Based的控制器各個系統模組化設計,提高可信賴度可用PLC開發語言與高階語言開發程式應用度更高可建立資料庫介面開放PC-BasedPC-Basedcontroller整合受控系統的訊號於PC板上一般利用通訊方式控制系統如VFD的控制圖示的PC-Based控制器具有SerialPort及DI/O控制接點,可控制少量硬體點半導體廠內自動化系統區分辦公室自動化系統Module自動化系統Facility自動化系統MIS-OfficeOfficeAutomationCIM-FABModuleAutomat
3、ionFMCS-FacilityFacilityAutomation辦公室自動化系統建立辦公室網路系統辦公室PC及周邊設備(如印表機,繪圖機,掃瞄器,…)管理文件系統,如郵件,申請,簽核,公佈欄ERP–企業資源管理企業入口網站廠區網路連線廠區防火牆管理Module自動化系統建立CIM網路系統(FAB內相關網路)建立EAP網路連線,擷取Tool資訊MES(ManufactureExecutingSystem)設定與執行製造流程執行Tool現況監控,如Run,PM,WarmS/D,ColdS/DAPC(AdvancedProcessControl)收集即時製程
4、參數,監控Tool狀態UPC(Pump/LocalScrubber)資料收集監控EIM(EngineeringInformationManagement)收集測試及實驗數據進行SPC分析及各種統計手法Module自動化系統(續)AMHS(AutomatedMaterialHandlingSystem)Tool間Lot自動化傳送設定最佳路徑,自動化傳輸設備應用程式EAP(EquipmentApplicationProgram)一個介於無塵室內設備與CIM系統之間的界面透過介面自設備取得資料以提供相關資訊系統應用降低現場人員的負擔與AMHS整合,達成無塵室完全
5、自動化EAPSystemAPC,MES,…AMHSEAP介面圖EAP透過半導體設備通用的介面與機台交換資料HSMSSECSIIGEM其他SEMI所訂定的ProtocolToolToolToolAPsSECSIIEAPAPCMESEIMAMHSSECSII一種固定格式的通訊協定,讓設備與EAP之間可以交換訊息HSMS-HighSpeedSECSMessageService一種透過TCP/IP(Ethernet)介面,讓EAP與設備間可高速交換訊息的通訊協定GEM–GeneralEquipmentModel驅動設備於各式狀況下去進行特定的動作這個標準對於EAP
6、來說定義著設備點的狀況其他SEMI標準CarrierManagement,ProcessJobManagement,ControlJobManagement,CarrierHandoff半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介主要系統水處理系統電力系統氣體供應系統化學供應系統機電與附屬系統無塵室控制系統半導體廠務系統簡介附屬系統火警探測防護系統極早期偵煙探測系統廣播系統門禁系統CCTV影像監視系統地震偵測系統LED電子看板系統LAU區域警報系統SMS簡訊系統電話系統半導體廠務系統簡介-水處理系統水處理系統DI(UPW)DI前段處理系統DI中段處理系統DI後段處
7、理系統Reclaim水處理系統廢水處理系統半導體廠務系統簡介-電力系統電力系統GIS氣體絕緣系統MTRU主變壓器單元EPS緊急發電系統CPS動態不斷電系統HV/LV高低壓盤供電系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統氣體供應系統GasCabinet/GasRack系統VMB(ValveManifoldBox)/VMP(ValveManifoldPanel)系統BulkGasSupplySystemCQC(ContinuousQualityControl)偵測器系統VertexMDA–紙帶式毒氣偵測器DragerDetector–電化學式毒氣偵測器半導體廠務系統
8、簡介-化學供應系統化學供應系統一般化學品供應系統POU分配系統Sl
