《厂务系统概述》PPT课件.ppt

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1、廠務系統概述莊士正整廠系統1.廠務系統功能1.1水系統在製程中的功能PCW製程冷卻水製程機台冷卻UPW/DIW超純水補水/清洗/稀釋ChillWater冰水冷卻用冷源/空調用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來水原水/一般用水1.2氣體系統在製程中的功能CDA壓縮乾燥空氣搬運器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮氣Purge/CDABackup/潔淨沖吹PN2純化氮氣Purge/空間填充/超潔淨沖吹其他B-GAS大宗氣體製程需求/Purge/空間填充/超潔淨沖吹S-GAS特殊氣體製程Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求1.3化學系統在製程中的功能Ch

2、emical化學藥品清潔清洗/濕式蝕刻製程需求1.4真空系統在製程中的功能PV製程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆PumpLine製程高真空Chamber製程轉換之高真空建立Exhaust排氣系統Chamber製程轉換之廢氣排除Drain排水系統機台製程使用之廢DI/Chemical排放1.5排氣/排水系統在製程中的功能2.廠務系統使用材質2.1水系統使用材質PCW製程冷卻水SUS304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFATubeChillWater冰水SUS304RW回收水SUS304CW自來水SUS304CDA壓縮乾

3、燥空氣SUS304LAP/BA/316LBAGN2一般氮氣SUS316LBA/EPPN2純化氮氣SUS316LEP其他B-GAS大宗氣體SUS316LEP/PH2有時用雙套管(EP/AP)S-GAS特殊氣體SUS316LEP/雙套管/加熱套2.2氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管)2.3化學系統使用材質有機類化學藥品例如溶劑類→SUS316BA一般酸鹼化學藥品例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC其他化學藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.4真空系統使用材質PV製程真空PVCSCH80/SUS304HV清潔真空PVCSCH80/S

4、US304PumpLine製程高真空SUS316BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風管2.5排氣系統使用材質Solvent有機排氣SUS304全焊式不銹鋼風管Acid/Ak酸鹼排氣不銹鋼TeflonCoating風管(Tefpass)2.6排水系統使用材質Drain一般排水PVC/PVCSCH80Solvent有機排氣水SUS304不銹鋼管Acid/Ak酸鹼排氣水PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA3.廠務系統流程3.1製程冷卻水系統簡略流程原水補水膨脹水箱冰水出冰水進板熱製程管線機台冷卻進水回水3.2冰水系統簡略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大氣冰水主機冷媒

5、循環RCUAHU其他空調箱DCC板熱冷卻水3.3純水系統簡略流程CityWater自來水DMFilter去除鈣鎂Decarbonator去除CO2WATower去除碳酸鈣SATower去除碳酸鈣ROTankRO進水槽HeatExchange熱交換器UVSterilizer紫外線殺菌SafetyFilter過濾器ROUnit逆滲透膜PermeatePit逆滲透底槽MixedBed去除SiO2MembraneDegasifier去除O2UPWTank純水儲槽Cooler冷卻器UVOxidizer破壞有機鏈UFUnit超限過濾膜H2UPWTank純水儲槽H2CoolerH

6、2冷卻器H2M.D.H2去除膜H2DesolveMembraneH2除溶膜H2WUFUnit超限過濾膜P.O.U使用點回水回水3.4自來水/回收水系統簡略流程自來水外管水表/隔離閥供應管線使用點自來水空氣中水份冷盤/空調箱回收管線回收水槽回收水使用點3.5CDA/GN2/PN2系統簡略流程CDAGN2/PN2大氣空壓機蓄壓槽初級過濾器冷凍式乾燥機吸附式乾燥機精密過濾器大氣氮氣產生器液氮槽蒸發器減壓站過濾器純化器使用點一/二次管二次盤CQC使用點一/二次管二次盤CQC3.6其他大宗氣體/特氣系統簡略流程O2SpecialtyGas鋼瓶Cabinet氣瓶櫃VMB/P閥箱

7、管線使用點液氧儲槽減壓站過濾器純化器CQCHe/Ar/Kr/H2…鋼瓶/BundleTrunker減壓站過濾器一/二次管二次盤使用點蒸發器使用點一/二次管二次盤純化器CQC管線3.7高真空/排氣系統簡略流程PumpingLineOthersExhaust機台製程ChamberVacuumPump高真空管路ScrubberGEX機台出口Damper風管風機高真空管路大氣Exhaust風管機台出口Damper風管風機Scrubber大氣3.8真空系統簡略流程PV製程機台使用點真空管路真空儲槽真空PumpHV一/二次管二次盤配置需求使用點真空管路真空清潔儲槽真空Pum