电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述课件.ppt

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1、厂务系统概述0.电子厂名言0.电子厂名言唯一的不变就是永远在变唯一确定的就是还没决定所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~1.厂务系统功能1.1水系统在制程中的功能PCW制程冷却水制程机台冷却UPW/DIW超纯水补水/清洗/稀释ChillWater冰水冷却用冷源/空调用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自来水原水/一般用水1.2气体系统在制程中的功能CDA压缩干燥空气搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹GN2一般氮气Purge/CDABackup/洁净冲吹PN2纯化氮气Purge/空间填充/超洁净冲吹其他B-GAS大宗气体制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹S-GAS特殊气体制

2、程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求1.3化学系统在制程中的功能Chemical化学药品清洁清洗/湿式蚀刻制程需求1.4真空系统在制程中的功能PV制程真空基板吸引般移HV清洁真空尘屑吸引清洁/真空吸笔PumpLine制程高真空Chamber制程转换之高真空建立Exhaust排气系统Chamber制程转换之废气排除Drain排水系统机台制程使用之废DI/Chemical排放1.5排气/排水系统在制程中的功能2.厂务系统使用材质2.1水系统使用材质PCW制程冷却水SUS304禁油处理/高压软管UPW/DIW超纯水CPVC/PVDF/PFATubeChillWater冰水SUS304RW回收

3、水SUS304CW自来水SUS304CDA压缩干燥空气SUS304LAP/BA/316LBAGN2一般氮气SUS316LBA/EPPN2纯化氮气SUS316LEP其他B-GAS大宗气体SUS316LEP/PH2有时用双套管(EP/AP)S-GAS特殊气体SUS316LEP/双套管/加热套2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管)2.3化学系统使用材质有机类化学药品例如溶剂类→SUS316BA一般酸碱化学药品例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC其他化学药品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.4真空系统使用材质PV制程真空PVCSCH80/SUS304HV清洁

4、真空PVCSCH80/SUS304PumpLine制程高真空SUS316BA/EPGEX一般排气镀锌螺旋风管2.5排气系统使用材质Solvent有机排气SUS304全焊式不锈钢风管Acid/Ak酸碱排气不锈钢TeflonCoating风管(Tefpass)2.6排水系统使用材质Drain一般排水PVC/PVCSCH80Solvent有机排水SUS304不锈钢管Acid/Ak酸碱排水PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA3.厂务系统流程3.1制程冷却水系统简略流程原水补水膨胀水箱冰水出冰水进板热制程管线机台冷却进水回水3.2冰水系统简略流程冷却水塔MAU冰水出冰水回大气冰水主机冷媒循环

5、RCUAHU其他空调箱DCC板热冷却水3.3纯水系统简略流程CityWater自来水DMFilter去除钙镁Decarbonator去除CO2WATower去除碳酸钙SATower去除碳酸钙ROTankRO进水槽HeatExchange热交换器UVSterilizer紫外线杀菌SafetyFilter过滤器ROUnit逆渗透膜PermeatePit逆渗透底槽MixedBed去除SiO2MembraneDegasifier去除O2UPWTank纯水储槽Cooler冷却器UVOxidizer破坏有机链UFUnit超限过滤膜H2UPWTank纯水储槽H2CoolerH2冷却器H2M.D.H2去除

6、膜H2DesolveMembraneH2除溶膜H2WUFUnit超限过滤膜P.O.U使用点回水回水3.4自来水/回收水系统简略流程自来水外管水表/隔离阀供应管线使用点自来水空气中水份冷盘/空调箱回收管线回收水槽回收水使用点3.5CDA/GN2/PN2系统简略流程CDAGN2/PN2大气空压机蓄压槽初级过滤器冷冻式干燥机吸附式干燥机精密过滤器大气氮气产生器液氮槽蒸发器减压站过滤器纯化器使用点一/二次管二次盘CQC使用点一/二次管二次盘CQC3.6其他大宗气体/特气系统简略流程O2SpecialtyGas钢瓶Cabinet气瓶柜VMB/P阀箱管线使用点液氧储槽减压站过滤器纯化器CQCHe/Ar

7、/Kr/H2…钢瓶/BundleTrunker减压站过滤器一/二次管二次盘使用点蒸发器使用点一/二次管二次盘纯化器CQC管线3.7高真空/排气系统简略流程PumpingLineOthersExhaust机台制程ChamberVacuumPump高真空管路ScrubberGEX机台出口Damper风管风机高真空管路大气Exhaust风管机台出口Damper风管风机Scrubber大气3.8真空系统简略流程PV制程机台使用点