半导体厂务常用缩写

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1、CUP    CentralUtilityPlant    中央動力廠房GEX    GeneralEXhaust    普通及熱排氣SEX    ScrubberEXhaust    酸排氣VEX    VolatileorgaiccompoundEXhaust    有機溶劑排氣AEX    AmmoniaEXhaust    鹼性排氣PCW    PlantCoolingWater    工藝冷卻水PV    ProcessVacuum    工藝真空HV    HouseVacuum    真空吸塵CW    

2、CityWater    自來水FMCS    FailityMonitoringControSystem    廠務監控系統    MCC    MotorControlCenter    馬達控制中心        VFD    VariableFrequencyDevice  變頻器        CCTV    CloseCircuitTelevsion    閉路電視        PA    PublicAdresssystem    廣播系統FA    FireAlarm  system    火災報警系

3、統UPW    UltraPureWater    超純水FWW    FluorideWasteWater    低濃度氫氟酸廢水IWW    IndustryWasteWater    工業廢水        OWW    OrganicWasteWater    有機溶劑廢水        DAHW    DrainAmonia  Hydride    Waste    含氨廢水        RCL    Recyclewater    製程回收循環水RCM    Reclaimwater    製程回收再利用

4、水HFW    HighFluorideWastewater    高濃度氫氟酸廢水        BGW    BackgridingWastewater    晶背研磨廢水        SAW    SulfuricAcidWastewater  硫酸廢液        PAW    PhosphoricAcidWastewater    磷酸廢液        SW    StripperWastewater    剝離液廢液TW    ThinnerWastewater    清洗廢液PIX    Pixwa

5、stewater    PIX廢液SLOW    Oxideslurrywastewater    介電質研磨廢水          SLWP    Metalslurrywastewater    金屬研磨廢水          SLWP    Polyslurrywastewater    多晶硅研磨廢水          PN2    ProcessN2  製程用氮氣          GN2    GeneralN2    一般用氮氣CDA    Compressor      DryAir  壓縮乾燥空氣  

6、      VMB    ValveManifoldBox    閥箱        空調系統        AHU    AirHandlingUnit    空调箱        MAU    Make-up  AirUnit    外气空调箱VAV    VariableAirVolume  box  可变风量风箱FFU    FanFilterUnit    风车过滤器        HEPA    HighEfficiencyParticulateFilter    高效率过滤器    ULPA    Ult

7、raLowPenetrationFilter    超高效率过滤器        A/S    Air  Shower    空气浴尘室CUP    CentralUtilityPlant    中央動力廠房電力系統        FMCS    FailityMonitoringControlSystem    廠務監控系統        MCC    MotorControlCenter    馬達控制中心        VFD    VariableFrequencyDevice    變頻器        CC

8、TV    CloseCircuitTelevsion    閉路電視        SCADA    Supervisory  ControlAndDataAcquisition    监视控制和数据搜集系MCC    MotorControl  Center    馬達控制中心VFD    VariableFrequencyD