半导体制造厂厂务节能对策

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1、半導體製造廠廠務節能對策半導體製造廠廠務節能對策財團法人中技社節能技術發展中心趙宏耀2000/11/4CTCIFOUNDATION1能源用量分佈能源用量分佈FabEnergyCategoriesFabEnergyCategories2.9%2.6%1.7%4.3%4.9%7.3%40.6%10.9%24.9%ProcessToolsChillersRCUFansN2PlantUPWExhaustAirSystemMAUsFansCDAPlantPCWPumping2000/11/4CTCIFOUNDATION2生產機台能

2、源用量分佈生產機台能源用量分佈ToolEnergyCategoriesToolEnergyCategories2.3%7.3%22.4%9.1%11.3%18.8%12.0%16.8%DryEtchThermalThinFilmsCMPPatterningWaferCleaningIonImplantMetrology2000/11/4CTCIFOUNDATION3研究方法研究方法MethodologyMethodologyl定義能源分佈範圍l由上而下與由下而上l固定負載與變動負載l同步用電量測l暫態量測與常態量測l忽略

3、小馬力用電2000/11/4CTCIFOUNDATION4電力使用指標電力使用指標ElectricalUtilizationIndexElectricalUtilizationIndexlUOP(UnitofProduction)UOP=WafersStarts/YearxWaferArea(in2)xMaskLayerslAverage=0.393kWh/UOPlTop3average=0.296kWh/UOP2000/11/4CTCIFOUNDATION5生產效率指標生產效率指標ProductionEfficienc

4、yIndexProductionEfficiencyIndexlAverage=6.92kWh/in2(44.64kWh/cm2)lTop3average=5.69kWh/in2(36.71kWh/cm2)2000/11/4CTCIFOUNDATION6生產機台效率指標生產機台效率指標ToolProductionIndexToolProductionIndexlAverage=0.137kWh/UOPlTop3average=0.082kWh/UOP2000/11/4CTCIFOUNDATION7生產機台節能方向生產機台

5、節能方向l機台排氣量大多呈現Measured>DesignlPCW&UPW呈現Measured

6、icationCostDecreaseEnergy987554Consumption(kWh/in2)300mmDecreaseEnergyConsumption4443(kWh/in2)2000/11/4CTCIFOUNDATION9其他可採用的能源指標其他可採用的能源指標l排氣系統®kW/CMMlPCW&UPW®kW/LPMlChiller&Chillerplant®kW/RT2000/11/4CTCIFOUNDATION10節約能源之策略節約能源之策略l數據→資訊→知識→智慧→省能源/省錢l監控系統→數據整理分析→

7、回饋及執行→監控系統lPlan→Do→Check→Action2000/11/4CTCIFOUNDATION11節約能源之做法節約能源之做法l數據擷取系統/監控系統l能源查核(EnergyAudit)–Walkthroughaudit–In-depthauditl能源使用分析l能源管理l效率改善工程(Retrofitengineering)2000/11/4CTCIFOUNDATION12空調系統節約能源方案空調系統節約能源方案CoolingLoadReductionCoolingLoadReductionl合理的溫溼度

8、、壓力條件l降低循環風速l微環境潔淨室(Mini-environment)l隔離熱源l採用高效率機台2000/11/4CTCIFOUNDATION13空調系統節約能源方案空調系統節約能源方案AirSideAirSidel排氣系統–檢討機台合理排氣量–排風機變頻器控制–運轉備用排風機l外氣空調箱–採用低壓損濾網–空調箱