抗氧化线（osp）作业指导书

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1、抗氧化线（OSP）作业指导书一、生产与控制：A：脱脂温度：32~~36℃处理时间：20秒B：微蚀温度：26~~28℃处理时间：20~~25秒C：护铜温度：38~~42℃处理时间：30~~90秒vD：烘干温度：80~~95℃处理时间：25~~35秒二、添加标准：A：微蚀原剂与护铜原剂更换添加比例为：2:1，即更换2桶微蚀就需更换1桶护铜。B：微蚀剂原液1KG可处理10~~15㎡。药液会随基板带出或蒸发而使液位降低。如果作业过程中铜离子浓度高，须先排放后添加，铜离子含量依药液化验分析报告。标准按处理35

2、0㎡排放槽液25KG（1桶),然后添加一桶新液。C：高温护铜剂原液1KG可处理双面基板8~~13㎡。高温护铜剂原液1KG可处理单面基板15~~24㎡。如果作业过程中有效成分浓度降低须先排放后添加，标准按照处理双面300㎡单面550㎡排放25KG槽液，然后添加25KG新液。添加药水需配套的添加氨水，一桶原液25KG需要添加氨水150ml，添加氨水时需注意抗氧化段药水是在循环时，同时一边慢慢加入氨水一边用搅棒不停的搅拌帮助氨水快速溶解于药水中。添加氨水需贵司专人添加，以免氨水过量导致PH值超标产生氨水印

3、。氨水的作用是调整PH值，高温药水PH值管控范围在2.60—3.0，药水效果最好时是在2.85，超过管控值上限可能会产生氨水印与油污，药水是酸性的氨水是碱性的，添加过快会产生油污会造成基板外观不良，如槽液出现大量油污，可添加200-400毫升甲酸，甲酸具有良好的除油性而且不会对药水产生本质上的影响，低于下限会影响基板有效膜厚。E：除油段ZX-1058A是用水稀释的酸性液体，其作用是活化铜表面及除油作用。ZX-1058A含轻量络合剂，其成分容易清洗，完全可以与OSP系统及其它工艺相配套。ZX-1058

4、A之使用方法：操作条件水平线（喷淋）垂直线（浸泡）浓度20-30%30-40%温度32-38℃43-49℃时间30-60秒3-5分钟配槽方法：配置新工作液，只需把ZX-1058A按配置比例加入所需之清水内即可。比例【清洁剂】1：4【水】，每周更换一次，每天添加半桶。注意事项：不要把水加入ZX-1058A内，否则会溅起而产生危险。三．机器保养维护与调整：（抗氧化药水正常情况下，所有问题都是保养问题）A：每班次上班机器预热时可检查微蚀段喷嘴是否堵塞，如有堵塞务必及时清理，保持喷嘴畅通，确保药液均匀的喷洒

5、在基板上，检查护铜段滚轮上面是否有脏污，如有发现脏污请用碎布沾点酒精擦掉。各段槽液温度不要超标，以免造成药水有效成分挥发过快辅助成分浓度升高从而浪费成本。这个过程中也会产生油污。（护铜槽液尤为重要）B：各段槽液必须达到标准液位，防止液位不足。（护铜槽液尤为重要）C：循环水洗槽的清洁水要及时更换，防止因水洗不净而影响品质；D：微蚀、护铜段前后吸水海绵辊要及时清洗（最好三天洗一次），并保持润湿确保良好的吸水性；E：微蚀段后水洗压力须达到3atm，彻底清洗残留在基板上的微蚀液防止硫酸根离子进入护铜槽液而导

6、致整槽药水报废；F：为防止大量堵板造成损失，建议在生产过程中每15分钟操作人员对整部机器进行检查，如发现出料处出料异常须及时对各段转送部分进行检查，发现异常须及时停止机器进行修理；G：在生产过程中如出现堵板，首先将停留在微蚀段基板取出并浸泡在清水中，（3分钟内完成）。2016-7-15