设备工程部培训资料新

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1、设备工程部培训资料设备的种类生产设备设备的名称(生产设备)1、扩散前清洗机（单晶制绒、多晶清洗）厂家：无锡瑞能、深圳捷佳创扩散前清洗机（单晶制绒、多晶清洗）使用注意事项：1、制绒清洗机在生产过程中使用大量的化学品，在操作过程中，注意穿戴必备的劳保用品。例：防酸碱手套、防酸碱鞋、防护眼镜、防酸碱服、口罩等；2、使用的化学品有：氢氟酸、铬酸、盐酸、氢氧化钠。3、由于生产过程中，手套经常是有酸碱的，酸碱会对设备的电气造成腐蚀，所以在操作设备的过程中，确保干燥，保护设备的完整，让设备正常运行。设备的名

2、称(生产设备)甩干机：用于硅片的干燥，把硅片的面的水甩干，为了防止硅片上面有水纹印；甩干机的使用点：扩散前清洗和扩散后清洗；设备的名称(生产设备)2、扩散炉(高温扩散形成P/N结)厂家：荷兰TEMPRESS、中国48所扩散炉(高温扩散形成P/N结)使用注意事项：1、进入扩散间，人员必须经过风淋，物品通过传递窗传递，大的物品经过风淋，再进入扩散间；1、由于扩散炉是高温设备，所以在操作时要注意烫伤，设备维修、保养时要在常温的状态下进行；2、扩散炉在生产过程中，使用到三氯氧磷化学品，在更换原瓶的过程中

3、穿戴防护服、防护面具、防酸碱鞋等；设备的名称(生产设备)石英管清洗机：用于石英配件的清洗，例如扩散炉管、石英舟等设备的名称(生产设备)3、扩散后清洗设备（去磷硅玻璃PSG）厂家：无锡瑞能、深圳捷佳创该设备的使用注意事项与扩散前清洗设备一样；设备的名称(生产设备)4、等离子刻蚀机（去硅片边缘，防止P/N结导通）厂家：中国48所、深圳捷佳创设备的名称(生产设备)5、PECVD（化学气相沉积、表面钝化）厂家：日本岛津、德国R&RPECVD（化学气相沉积、表面钝化）使用注意事项：1、PECVD在生产过

4、程中，使用到特气（硅烷、氨气、高纯氮气），特气由厂务特气输送系统通过管道输送到设备，由于特气的特性，我们对特气的泄露，安装了相应的侦测和泄露报警装置，在PECVD设备旁边安装了报警灯，绿色为无报警，黄色为轻微泄露，红色为严重泄露，注意在红色灯亮的同时，特气输送系统将切断供气，保证车间人员及设备的安全。2、由于PECVD是高温设备，所以在操作时要注意烫伤，设备维修、保养时要在常温的状态下进行；设备的名称(生产设备)6、印刷（制备电池片电极）厂家：德国ASYS、日本DEKJ、意大利Baccini设备

5、的名称(生产设备)7、烧结炉（电极金属化）厂家：美国Despatch、美国BTU设备的名称(生产设备)8、测试分选（效率分档）厂家：日本NPC、德国Berger、北京的手动测试仪设备的种类厂务设施（设备）设备的名称(厂务设备)1、空调系统包括：冷冻机、冷却水塔、新风机组系统、自循环风机系统、冷却水循环系统、冷冻水循环系统、空调过滤系统主要作用：车间的温湿度、洁净度控制2、气体系统气体设备：空压机、真空泵、液氮、液氧、特气供应设备气体包括：特气（SiH4、NH3、CF4）、设备的名称(厂务设备)氮

6、气、氧气、压缩空气、真空3、水处理系统包括：超纯水处理系统、废水处理系统A、超纯水处理系统：主要用于硅片清洗、主要对应的相应设备有扩散前清洗及扩散后清洗B、废水处理系统：主要处理生产过程设备的名称(厂务设备)的各种酸、碱废液，以达到国家排放标准4、排风系统包括：硅烷排风、有机废气排风、普通废气及热气排风5、工艺冷却水系统：用于工艺设备的冷却、保证生产设备一定的条件下正常运行设备的名称(厂务设备)需要冷却水的设备：扩散炉、等离子刻蚀机、PECVD、烧结炉6、消防系统：针对厂房、人员及设备安全的一种

7、预防性设备，有消防广播系统、火灾报警系统、声光报警系统、消防喷淋系统、安全指示牌等常用化学品1、化学品种类：液态碱NaOH、固态碱NaOH分析纯、盐酸HCL、铬酸CrO3、异丙醇、三氯氧磷POCL3、硫酸H2SO42、使用化学品的安全注意点：使用化学品前要了解各种的化学性质、物理特性及化学品的MSDS使用化学品时，注意使用相应的防护用品保证操作时不要被化学伤害常用化学品主要使用点：扩散前清洗、扩散炉、扩散后清洗设备注意事项：1、设备操作前，要先阅读设备操作说明书，对设备性能及操作熟悉后，方可操作

8、设备2、设备故障时，要先通知设备维修人员，不要自己动手维修设备3、设备定期保养计划的实施4、设备点检制度的执行工厂安全生产过程中注意事项：自觉遵守安全生产规章制度和劳动纪律，不违章作业，并随时制止他人违章作业；遵守有关设备维修保养制度的规定；爱护和正确使用机器设备、工具，正确佩戴防护用品；关心安全生产情况，向有关领导或部门提出合理化建议；发现事故隐患和不安全因素要及时向组长或有关部门汇报；发生工伤事故，要及时抢救伤员、保护现场，报告领导，并协助调查工作；努力学习和掌握安全知识和技能、熟练掌握本工