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1、洁净室测试实用程序提要:洁净室安装完毕以后,需要进竣工验收测试.由于工程安装实际情况及工期紧迫等问题,常常使测试工作难以按常规程序进行.本文根据实际的洁净室测试经验,对洁净室的测试条件,测试方法,测试程序,做一些总结,以供交流。目前的洁净室特别是高级别洁净室,施工要求高,难度大,各专业交叉作业多,而且工期紧迫.这些都会对最后的测试工作带来影响.而洁净室测试工作必须严格按照有关规范标准进行.本文根据单晶硅抛光片洁净厂房项目的测试情况,予以说明.本项目洁净区总面积约1100平方米,包括1级,10级,100级,1000级,级5种级别的洁净间,其中前四种洁净间采用新风加FFU机组和干盘
2、管的方式,双层吊顶,级区域采用了空调机组加高效过滤风口的方式,单层吊顶.竣工验收测试,根据有关约定,在空态环境下进行.一.测试条件洁净室的竣工测试前,各施工项目必须全部完成,并做好如下工作,满足测试要求:1.洁净区域内及与之相关的施工作业已全部完成,如各类空调工艺等管道工程,通风工程,电气工程,洁净室的结构装饰工程等.(有条件时.应对整个工程分部在无生产负荷的情况下进行系统联合试运转.,调试).对于与工艺设备连接的涉及二次配管的风,液,气管,需要从吊顶开洞接入洁净间,和从架空地板开洞接入洁净间时,原则上应该将吊顶盲板和架空地板的预留洞开好,并将管道接入洁净间内的适当位置.2.对
3、洁净室内及与之相关的各分部工程作外观及质量检查,对各专业及分包的分项工程,作全面的严格检查,对质量缺陷及遗项做好补救措施.3.对洁净间围护结构的检漏完成.主要是洁净室内的架空地板下分隔板,双层吊顶内的分隔板的检漏.4.对洁净室内各设施表面进行彻底的清洁,清扫.二.测试准备工作施工全面完成后,进行测试前,必须同时完成如下的准备工作,以利测试工作的顺利进行.1.系统准备:1.1单机试运转1.1.1各新风机组,排风机组,空调机组先检查各送风,排风机安全措施,转动叶轮,看有无卡阻及触碰现象,检查风机润滑情况,然后点动风机,检查叶轮转向是否正确,然后启动风机,在额定转速下试运转至少2小时
4、.试运转应无异常振动,响声.注:⑴.实际施工中,新风机组的单机试运转,往往早已开始.这是因为在洁净工程施工过程的非常洁净阶段,需要送入室外新风或冷气.一方面是维持室内正压,另一方面可以增加室内舒适性,便于施工与清洁.⑵.对于如本项目高级别洁净室,新风系统设计有三级过滤,在非常洁净施工阶段,启动新风送风时,先在新风机新风进风口处,安装临时的无纺布,并安装初效过滤器,然后启动风机送风.以保证送入的新风相对洁净.当工程施工进入撕膜,打胶,清洁阶段时,在新风机安装中效过滤器,当打胶清洁结束进入超洁净施工阶段时,应将新风机组的高效过滤器安装上去,以确保新风的洁净程度.然后进行高效过滤风口
5、及FFU机组安装.1.1.2FFU机组先检查,看是否有线头异物掉入风机孔内,电源接线及接地情况是否可靠,符合要求,转动叶轮看有无触碰现象,开启电源,点动风机,看转向是否正确.先将风机挡位调到一档,待风机运转正常后调节到二挡(设计建议为3挡,调试后未生产时使用2挡).1.1.3风淋室(通道)先检查安全措施,电源及接地情况等,通电,按有关产品手册予以检查风淋室的门及其锁定,风机,喷淋口,报警等内容.1.1.4其他设备的试运转1.2系统联合试运转系统联合试运转是在单机试运转合格后进行,先对各系统进行安全检查,以及各风系统水系统部件,执行机构,阀门,电气等是否正确.空调,通风及照明等系
6、统通水通电等,然后启动各排气系统,空调及送风系统,启动FFU机组,风淋室等设备,进行联合运行.联动试运行时,各系统设备必须联动正确,协调,动作正确,无异常现象.1.3空吹系统联合试运转后合格后,让系统空吹.空吹时间至少24小时.(空吹时,FFU机组风机进口处的无纺布不要去掉)1.4彻底清洁空吹后,要对洁净室内进行彻底清洁,主要是对洁净室吊顶(除FFU外),四周墙板,及地面进行擦拭,清除浮尘.对较高的洁净室,应使用纯水,洁净纸或洁净布.空吹后清洁前,注意应将临时装在FFU机组风机进口处的无纺布去掉,并小心处理.2.确定测试方案2.1确定测试内容洁净室检测,根据种类和级别不同,有不
7、同的检测内容.具体检测内容可以依据洁净室施工及验收规范,和设计要求确定.洁净室工程竣工验收测试一般要求如下表:洁净室竣工验收测试要求序号项目竣工验收1室内送风量,新风量(系统总风量),室内排风量√2静压差√3截面平均风速√4截面风速不均匀度√5空气洁净度√6浮游菌和沉降菌〇7室内温度和相对湿度√8室温(或湿度)波动范围和区域温差〇9室内噪音级√10室内倍频程声压级〇11室内照度和照度均匀度√12室内微振〇13表面导电性能〇14室内气流流型〇15流线平行性〇16自净时间〇17通风机风量,数量√
