洁净室尘埃粒子测试记录.doc

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1、洁净室尘埃粒子测试记录洁净级别10000级测试标准GB/T16292-2010测试状态静态测试仪器LasairIII测试时间房间名称粒子尺寸采样点1采样点2MUCL静态最大允许数个/m3结论采样值C1-1采样值C1-2采样值C1-3平均值A1采样值C2-1采样值C2-1采样值C2-3平均值A2≥0.5μm350000□符合□不符合≥5μm2000□符合□不符合≥0.5μm350000□符合□不符合≥5μm2000□符合□不符合≥0.5μm350000□符合□不符合≥5μm2000□符合□不符合≥0.5μm350000□符合□不符合≥5μm2000□符合□不符合≥0.5

2、μm350000□符合□不符合≥5μm2000□符合□不符合≥0.5μm3500000□符合□不符合≥5μm20000□符合□不符合备注注：Ai＝（Ci-1＋Ci-2+Ci-3）/3Ai：采样点的平均粒子浓度（粒/M3）；Ci-n：采样点单次的粒子浓度（粒/M3）；n：采样点的采样次数（3次）；i:采样点置信上限：UCL＝M＋t×SE洁净室平均粒子浓度（粒/M3）：M＝（A1＋A2）/2；洁净室总采样点数：L；95％置信上限的t分布系数：t＝6.31（L＝2）；标准误差：SE2＝〔（A1－M）2＋（A2－M）2〕/2（2－1）检验人：复核人：