尘埃粒子测定记录.doc

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1、尘埃粒子测定记录文件编码：序号：产品名称产品批号产品规格测试状态测试日期年月日仪器型号检验依据检验标准100级0.5µm≤3500粒/m3或≤9.9粒/2.83L5µm≤0粒/m3或≤0粒/2.83L10000级0.5µm≤350000粒/m3或≤990.5粒/2.83L5µm≤2000粒/m3或≤5.7粒/2.83L洁净室/洁净级别粒径μm点1平均值粒/m3点2平均值粒/m3UCL个/m3结论≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格

2、≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格备注测试人复核人尘埃粒子测定记录文件编码：序号：产品名称产品批号产品规格测试状态测试日期年月日仪器型号检验依据检验标准10000级0.5µm≤350000粒/m3或≤990.5粒/2.83L5µm≤2000粒/m3或≤5.7粒/2.83L100000级0.5µm≤3500000粒/m3或≤99015粒/2.83L5µm≤

3、20000粒/m3或≤56.7粒/2.83L洁净室/洁净级别粒径μm点1粒/m3点2粒/m3UCL个/m3结论≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格≥0.5□合格□不合格≥5□合格□不合格备注测试人复核人