洁净室(区)尘埃粒子数测试记录

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1、XXXXX公司洁净室(区)尘埃粒子数测试记录文件编号：XXX检测编号：被测单位洁净级别气流形式测试状态检测日期　测试依据报告日期　测试仪器厂家及编号:记录0.5μm、5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min；（单位:粒/m3）洁净室/区采样点粒子直径C1C2C3平均值A=C1+C2+C33平均值的均值M=(A1+A2)/L标准误差SE置信上限UCL=M+t×SE结果评定10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm5μm10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm5μm10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm5μm10.5μm0.5μm5μ

2、m20.5μm5μm5μm评定标准:注：（1）A1,A2--某一采样点的平均粒子浓度；UCL--平均值均值95%置信上限；·SE=L--某一洁净室/区内的总采样点数，个；t--95%置信上限的t分布系数（6.31）；结论：检测者：复核者：共页第页XXXX公司洁净室(区)尘埃粒子数测试记录（附页）文件编号：XXX检测编号：检测日期：洁净室/区采样点粒子直径C1C2C3平均值A=C1+C2+C33平均值的均值M=(A1+A2)/L标准误差SE置信上限UCL=M+t×SE结果评定10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm5μm10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm

3、5μm10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm5μm10.5μm0.5μm5μm20.5μm5μm5μm10.5μm5μm20.5μm5μm10.5μm5μm20.5μm5μm10.5μm5μm20.5μm5μm检测者：复核者：共页第页XXXX洁净室(区)尘埃粒子数测试记录（附页）文件编号：XXX检测编号：检测日期:检测者：复核者：共页第页