石英坩埚和石墨坩埚升级换代 可重复利用的高热导氮化硅陶瓷坩埚5项优势

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1、石英坩埚和石墨坩埚技术迭代威海圆环可重复利用的高热导氮化硅陶瓷坩埚助力我国单晶硅行业提质增效石英坩埚在单晶硅行业的应用目前，国内拉制半导体单晶硅和拉制光伏单晶硅常用的是石英坩埚配合石墨坩埚同时进行的，制造单晶硅所用的石英坩埚规格通常是18英寸-36英寸的，也有个别厂家使用40英寸及以上的太阳能级石英坩埚或半导体级石英坩埚。▲拉制单晶硅的石英坩埚当前国内石英坩埚生产大厂的坩埚生产技术都比较成熟，大多采用电弧熔制法配合旋转塑模法制作拉制单晶硅棒的石英坩埚，该方法是利用旋转带来的离心力使高纯石英砂在洁净环境中堆积于具有坩埚

2、形状模具的内表面，再通过电弧放电加热使堆积于内表面的石英粉熔融、玻璃化，并最终成形为呈现半透明状拉制单晶硅石英坩埚。生产拉制单晶硅石英坩埚具有内外两层结构，由于石英坩埚内层影响最终的单晶硅片质量，所以一般采用进口美国高纯石英砂或挪威高纯石英砂，石英坩埚外层主要用来散热，所以使用国产石英砂通常就能满足需求。拉制单晶硅的石英坩埚的不足之处由于经涂层技术处理后石英坩埚仅能一次性使用，每拉制一炉单晶硅就需要更换一个石英坩埚。可以这么说，石英坩埚就是用来装高温状态下硅原料的容器件，是光伏硅片和半导体硅片加工环节中的关键耗材，也

3、是硅片品质的重要保障，所以说石英坩埚是拉制单晶硅棒不可或缺的耗材和刚需。当前半导体行业占据超过60%的单晶硅片需求量，但是近两年由于新能源太阳能光伏电池行业需求大爆发，进口高纯石英砂和国产纯石英砂在新能源太阳能光伏电池行业需求推动下，石英砂价格一路上行，进口高纯石英砂因为原料垄断格局，价格更是蹭蹭往上涨。据业内资深人士透露，由于石英砂原料价格上涨，目前一个石英坩埚的价格在1.2万元左右，大约是去年同期的3倍还多。▲石英坩埚配合石墨坩埚同时应用于拉制单晶硅棒受进口高纯石英砂原料垄断格局的影响，石英坩埚不仅价格高而且质脆

4、易破，在使用温度下易软化，需配合石墨坩埚同时使用，这种石英坩埚+石墨坩埚方式广泛应用于太阳能和半导体领域拉制大直径单晶硅棒的生产工艺中，石英坩埚+石墨坩埚方式支持高温条件下连续拉制大直径单晶硅棒的生产工艺不仅造成资源浪费，增加回收成本，同时增加了单晶硅的生产成本，不利于单晶硅氧含量的降低和太阳能光伏电池的转化效率的提升。寻找新的材料，开发节能降耗的坩埚，以降低单晶硅生产成本、提高单晶硅片的品质与电池的转换效率是当前太阳能光伏行业和半导体单晶硅片行业内研究和产业化关注的重点。氮化硅坩埚是拉制单晶硅棒或熔炼多晶硅锭中