石英坩埚检验标准

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1、嘉兴五神光电材料有限公司文件编号：CZSi-05-1电弧石英玻璃坩埚检验标准版本号：A/1页码：第21页共22页生效日期：2009年4月21日1、范围本标准适用于拉制太阳能单晶用的石英玻璃坩埚的要求，检验规则及标志、包装、运输和贮存。2．术语和定义下列术语和定义适用于本标准.2.1裂纹坩埚表面能发现出来的裂纹或微细裂纹.2.2划伤内表面能看见的划伤2.3附着物附着在坩埚表面上的任何物质2.4表面沾污内外表面的不干净膜、变色、喷溅、指纹等。2.5杂质石英玻璃组成中二氧化硅(SiO2)以外的组分.2.6凹坑坩埚内表面呈现的凹坑2.7崩边坩埚边沿的缺口或伤疤2.8气泡表面存在的开口泡或夹层里

2、存在的气泡.2.9气泡群坩埚壁厚内密集着2个以上的气泡,气泡间距不超过气泡直径的5倍3.要求3.1电弧石英玻璃坩埚的形状应符合图1的规定图1电弧石英玻璃坩埚的形状注：D—外径，H—高度，W1、W2、W3—厚度，R—标称半径（底部），r—标称半径（弧度）3.2规格尺寸及偏差(见表1)表1规格尺寸㎜规格(英寸)外径(D)高度(H)壁厚(W1)壁厚2(W1)壁厚3(W1)半径1(R)半径2(r)18“457321±39.010.0±210.0±250012020“507356±310.011.0±211.0±2508903.2.1涂层英石英玻璃坩埚,其涂层厚度应不小于0.5㎜.3.2.2用真

3、空法生产的电弧石英玻璃坩埚,其真空玻璃态厚度应不小于3㎜3.3外观3.3.1石英玻璃坩埚内外表面应清洁无沾污.3.3.2坩埚内外不允许有裂纹.3.3.3坩埚口端部不允许有切割毛刺崩边,口端部内倒角应﹥2㎜.3.4外观质量指标3.4.1划伤坩埚底部不允许有划伤、触痕。3.4.2凹坑a.不允许有无光泽的凹坑,底部连接弧度处不允许有凹坑.b.有凹坑,但很光滑能满足壁厚要求,直径小于5㎜,不允许超过2只.3.4.3杂质点a.坩埚内表面上不允许有杂质点.b.处有坩埚壁厚中用肉眼能够判断的杂质点的数量(只数)应不大于表2的规定.表2杂质点数量直径(㎜)坩埚规格(㎜)4575070.5﹤Φ≦1.02

4、21.0﹤Φ≦1.511注1:Ф﹥1.5㎜的杂质不允许注2:每平方厘米杂质点数量不超过2只.3.4.4气泡a.坩埚内表面不允许有开放的气泡.b.坩埚内表面不允许因气泡造成凸出的点.c.距口边40㎜以外处在坩埚壁厚内的气泡数量(只数)应不大于表3规定表3气泡数量直径(㎜)坩埚规格(㎜)4575070.5﹤Φ≦0.7550.7﹤Φ≦1.044注1:Ф﹥1.0㎜以上的气泡不允许注2:每平方厘米气泡数量不超过2只.3.4.5不允许有未熔融的原料份或杂质附着物存在即生料点。3.4.6铝、钙、铁、铜、钾、钠、锂、硼等13个杂质元素的总含量不大于5×10-5其中该8种杂质元素的含量应不大于下表的规定

5、.表4杂质元素的含量×10-6元素符号AlFeCaCuKNaLiB含量≤100.50.50.020.50.50.50.13.5检验原则3.5.1入厂检验：品质管理人员按5%比例逐抽检..注意戴好无尘手套、口罩..单晶车间操作工在生产过程中逐只检验..3.5.2判定规则：各项外观质量指标达到规定指标要求则判该只坩埚为合格，当要求中任意一项指标不合格时，则判该只坩埚为不合格．3.6标志、包装、运输、贮存3.6.1标志3.6.1.1每只或每箱产品出厂时应附有产品说明书、合格证．3.6.1.2合格证上应写明产品名称、规格、数量、生产日期、制造厂名、商标和产品标准号。3.6.2包装3.6.2.1

6、每只坩埚用定型泡沫塑料包装,然后放入纸盒内,避免运输中碰损.3.6.3运输3.6.3.1装、卸、运都要轻拿、轻放,不能扔摔,碰撞.防止雨淋日晒,防止受潮.3.6.4贮存3.6.4.1产品应贮存在室内,无有害气体,干燥清洁的地方．不得重压.批准审核编制修改履历页码内容状态备注