资源描述:
《坩埚论文:坩埚 熔融石英陶瓷 注凝成型 氮化硅 性能表征》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、坩埚论文:熔融石英陶瓷制备技术及性能检测与表征【中文摘要】坩埚是用于多晶硅熔炼铸锭过程中装载多晶硅的容器,它的使用条件苛刻,要在高于1500℃的高温下一次性连续使用40小时以上。石英陶瓷具有优异的性质,如热膨胀系数小、热稳定性好、耐高温液体侵蚀性好、导热性低等特点,成为多晶硅铸锭过程盛装多晶硅料的首选材料。目前,熔融石英陶瓷坩埚的制备方法一般有两种:注浆成型和注凝成型。论文采用注凝成型制备石英陶瓷坩埚,并在料浆中掺入氮化硅,以提高其体积密度等,使坩埚物理性能接近或者优于注浆成型的石英坩埚,以便弥补注凝成型的缺陷。论文以丙稀酰胺(AM)为有机单体、N-N’亚甲基丙稀酰胺
2、为交联剂、引发剂为过硫酸胺(MBAM)、pH调节剂为乳酸,制备了熔融石英陶瓷坩埚,并利用X-射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对试样的结构形貌进行表征,结果表明,当料浆固相含量为50%时,制备的熔融石英陶瓷坩埚并未出现结晶峰,石英颗粒级配合理,结构均匀,常温抗折强度为23Mpa,常温抗压强度为90Mpa,显气孔率为16%,其物理性能低于注浆成型产品。并研究了固相含量、pH值对料浆性能的影响以及固化温度、单体、引发剂对料浆固化时间的影响,结果表明,当料浆固相含量为80%,p...【英文摘要】Thecrucibleisusedasavesselforloadi
3、ngpolycrystallinesiliconingot.Ithasaharshuseconditions,whichhastoworkcontinuousabove40hoursunderthehightemperature1500℃onetime.Thequartzceramicshaveoutstandingperformance,suchas,lowthermalexpansioncoefficient,goodthermostability,resistance-to-bake,lowthermalconductivityetc,sotheyarefitf
4、orloadingpolycrystallinesilicon.Atpresent,therearetwopreparationmethodstomakeFusedSilicaCeramicCrucibles,oneisSlip...【关键词】坩埚熔融石英陶瓷注凝成型氮化硅性能表征【英文关键词】CruciblesquartzceramicsGel-Castingsiliconnitridepropertiescharacterization【索购全文】联系Q1:138113721Q2:139938848同时提供论文写作一对一辅导和论文发表服务.保过包发【目录】熔融石英
5、陶瓷制备技术及性能检测与表征摘要8-10ABSTRACT10-11第一章绪论12-241.1论文研究的背景、目的和意义12-131.2熔融石英陶瓷13-141.3熔融石英陶瓷的性能特点14-151.4熔融石英陶瓷的制备技术15-211.4.1传统制备技术15-161.4.2胶态成型技术16-211.4.2.1注射成型技术161.4.2.2气体辅助注射成型161.4.2.3直接凝固注模成型16-171.4.2.4温度诱导成型17-181.4.2.5电泳沉积成型181.4.2.6离心注浆成型18-191.4.2.7压滤成型191.4.2.8注凝成型技术19-211.5注凝
6、成型熔融石英陶瓷材料的性能改进21-221.6本论文研究的主要内容22-24第二章研究方案24-292.1实验方法选择24-252.2实验试剂、原料及仪器25-272.2.1实验试剂、原料25-262.2.2实验仪器26-272.3表征方法27-292.3.1体积密度、显气孔率表征272.3.2常温抗折强度表征272.3.3料浆分散性表征272.3.4结晶度表征27-282.3.5微观结构表征28-29第三章熔融石英陶瓷坩埚的制备及表征29-413.1实验步骤29-303.1.1石英陶瓷料浆的制备29-303.1.2注凝成型303.1.3烧结303.2结果及讨论30-
7、383.2.1实验结果30-333.2.1.1物理及力学性能表征30-313.2.1.2微观结构31-333.2.1.3XRD测试333.2.2反应条件对料浆制备及成型的影响33-383.2.2.1固相含量对熔融石英料浆性能的影响33-343.2.2.2pH值对熔融石英料浆性能的影响34-363.2.2.3温度对注凝成型料浆固化时间的影响363.2.2.4单体、引发剂对注凝成型料浆固化时间的影响36-383.3注凝成型机理探讨38-393.3.1链引发383.3.2链增长38-393.3.3链终止393.4本章小结39-41第四章氮化硅对石英陶瓷的影