毕业设计（论文）开题报告-基于tersoff势金刚石表面粒子作用势的拟合

《毕业设计（论文）开题报告-基于tersoff势金刚石表面粒子作用势的拟合》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、内蒙古科技大学本科毕业论文开题报告科目：基于tersoff势金刚石表面粒子作用势的拟合学院：机械工程学院专业：机械设计制造及其自动化班级：机械09—3班学号：姓名：指导老师：老师-25-一、本课题研究背景-4-一、本课题研究背景-4-二、本课题研究意义-6-三、文献综述-6-1.金刚石-7-1)、金刚石薄膜的制备工艺-7-（1）、热丝CVD法(HFCVD)[2~4]-7-（2）、激光辅助CVD法(LACVD)[5]-7-（3）、直流电弧等离子喷射CVD法(DAPCVD)[6,7]-7-（4）、MPCVD法的特点-7-（5）、电子回旋共振等离子体CVD法(ECRMWCVD)-7-（6）、微波等

2、离子体CVD法(MWPCVD)-8-（7）、电子加速CVD法-8-2）、金刚石的一些性能指标-8-3）、应用-9-（1）、工具领域-9-（2）、热沉领域-10-（3）、光学应用领域-10-（4）、电子学应用领域-11-（5）、医学方面-11--25-（6）、其他方面应用-11-2、计算机仿真研究-12-1)、原子尺度模拟方法-12-(1)动力学蒙特卡洛(KinetieMonteCarlo,简称KMC)方法-12-(2)分子动力学(MoleeularDynamicS,简称MD)方法-13-2)、薄膜计算机模型-14-（1）、LG模型-14-(2)Eden模型-14-(3)DLA模型-15-(4

3、)RLA模型-16-3、Tersoff势-16-（1）、Tersoff势中用到的一些参数如下-19-（2）、角度之余弦-19-（3）、角度的函数-20-四、研究方案-20-五、研究内容及进度安排-21-研究内容-21-进度安排-21-六、参考文献-22-七、指导老师审查意见-25--25-一、本课题研究背景金刚石是自然界已知物质中硬度最高的材料,莫氏硬度为10，维氏硬度高于98GPa，其耐磨性和研磨能力超过了所有磨削材料。金刚石的弹性模量极大，约为980GPa左右，抗压强度为120GPa，抗拉强度为3.4GPa。金刚石在空气中的摩擦系数极低只有0.1左右。金刚石(碳)和同族元素硅、锗一样是优

4、良的半导体材料。金刚石的禁带宽度为5.5eV,大约是硅的5倍,是一种良好的绝缘体，室温下其电阻率为。金刚石电学性能的最大特点是可掺杂性，通过适当的掺杂可使金刚石获得半导体材料的性能。而且，金刚石的电子迁移率、空穴迁移率分别为200和1600/v・S,饱和电子速度为2.7/s。金刚石电学性质品质，即Johnson价质数远高于半导体材料硅、锗和GaAs。因此可以用于制作在高温和强辐射条件下工作的电子器件，或用于高频率，高功率固体微波器件，性能远远优于硅、锗、砷化镓及其它化合物半导体材料。纯净的金刚石电阻率很高(>1016Ω.cm)，但室温热导率却是所有已知物质中最高的(～20W.cm-1.K-1

5、)大约是良导热体铜的5倍。金刚石的熔点在3000℃以上,其热膨胀系数与温度成正比关系，随温度的上升而线性增大，一般为1.5~4.8×/℃。这一性质使金刚石可以用作超大规模集成电路和高功率激光二极管列阵的热沉(散热片)。金刚石的光学性质也同样十分优异。金刚石是透光波段最宽和透光性能最好的材料,从紫外到可见光以及红外光(除2～6m处吸收外)其透光率都很高，还能透过X射线和微波。-25-这一卓越性质加上其无与伦比的硬度，最高的热导率，极低的热膨胀系数和极佳的化学稳定性，使其成为最佳的光学窗口材料，可用于高马赫数飞行的导弹头罩和红外焦平面热成像装置的窗口及光学涂层。金刚石还具有最高的弹性模量(105

6、0GPa)和纵波声速(18200m/s)，可用于高保真扬声器和其它高性能声学器件。金刚石的化学性质也极其稳定。纯氧中720~80OC开始氧化，室温下几乎不与酸、碱等腐蚀介质发生反应，只是在高温下，会受某些金属溶液的侵蚀。但是，由于天然金刚石十分稀少，而用高温高压法(50～50kbar及数千度高温)人工合成的金刚石颗粒非常细小，且一般含有催化剂杂质。只能用作磨粒磨料和工具(如PCD)。而采用低压化学气相沉积(CVD)方法制备的金刚石膜。可以提供充分利用金刚石各种优异物理化学性质，实现在上述一系列高技术领域应用的机会。正因为如此，化学气相沉积金刚石膜20世纪80年代初取得突破以来，一直受到世界各

7、先进工业化国家(日，美，欧等)的重视，金刚石热(DiamondFever)曾一度袭卷全球。近年来，化学气相沉积金刚石膜研究的进展已经把金刚石膜这种特殊的多功能材料推到了大规模产业化应用的前夜，这更激起了各国政府和开发厂商的热情。然而像任何新材料和新技术的产业化进程一样，CVD金刚石膜的产业化也不象许多研究者和开发商所想象的那样顺利。目前尽管已有一些产品已在国内外市场上出现，一个崭新的金刚石膜产业群正在涌现，但