prober 8半自动探针台技术标准

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1、XH-Pro-8半自动探针台技术标准XH-Pro-8半自动探针台与测试仪配接后，能自动完成对芯片的电参数测试。基本特点：1.采用高性能工控机，Windows操作系统；2.可实现2000V以内高压测试；3.TTL专用接口，兼容各种测试仪；基本功能：1.Windows友好界面，动态显示测试过程；2.MAP图显示、支持大量数据存储；3.具有同步打点、延时打点（延时打点个数：1～7个）、离线打点功能；4.自动测试方式灵活多样（矩阵、探边、圆形等），具有探高测试功能；5.具有多种测试功能；技术指标：性能名称技术指标可测片径4″、5″、6″、8

2、″工作台最大行程220mm×220mm定位精度≤±0.015mm/200mm步进分辨率0.001mm承片台Z向行程10mmZ向定位精度≤±0.003mmZ向分辨率0.001mmθ向调节范围±10ºθ向分辨率0.0013º观察装置双目体视显微镜放大倍数14X～90X上、下片方式手动方式外形尺寸（宽×深×高）800mm×1000mm×1600mm环境要求：1.电源：AC220V±22V50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW2.真空：<-80KPa3.使用环境：温度：10ºC-30ºC相对湿度：＜70%