UF200R Prober基本操作(operator)

《UF200R Prober基本操作(operator)》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、UF200RProber基本操作（operator）一、Prober操作流程1.上料在开机初始化之后，点击屏幕左下方的LOADERSW，点击TRAYLOCK/UNLK开锁，打开LOADER部分保护盖，放置CASSETTE，要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确，放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER上横槽，压下两个白块，CASSETTE左右位置参照蓝色框，前后方向固定即可，将LOADER保护盖盖好，点击TRAYLOCK/UNLK闭锁2.调用DEVICE点击DEVICEPARAM

2、ETERCHANGE，在左下方点击DEVICELISTREFERENCE，选择需要的DEVICE，点击DEVICEDATAREAD，SETTINGEND，在主界面中会显示DEVICE的主要参数，请核对后再进行下一步3.输入LOT号点击LOTSETTINGS，可以选择使用键盘输入或者使用Barcodescanner扫描，输入完成后点击LOTSETTINGEND4.设定OPERATIONSETTINGS点击OPERATIONSETTINGS，确认上下料位置，在每个CASSETTE第一片WAFER测试时一般将STOP

3、BEFORPROBING设为STOP，第一片测完后改为CONTINUE5.LOADWAFER点击LOADERSW，点击NEWCST，点击屏幕下方START等待LOADWAFER6.对针将MARKCROSS对准针尖位置，然后点击DATAIN，如果看不清针尖可以点击右上方切换光源按钮LIGHTINGCHANGE7.设定起始DIE的位置将移动模式改为INDEX，将十字线移至WAFER左上角第一个DIE内，注意镜像移动，即点击方向和移动方向相反，完成后点击DATAIN8.对针痕首先要记录PROBINGOVERDRIVE

4、值，然后点击OVERDRIVECHANGE将OD值设为0um，点击ZUP，将CARDRELATIVEZHEIGHT由-200um提升至0um，点击ZDOWN，将记录的OD值重新输入，点击ZUP，然后ZDOWN，点击IMAGEDISPLAYCHANGE观察针痕是否正常，确认后点击DATAIN！！！注意：只能在ZDOWN状态下点击IMAGEDISPLAYCHANGE，否则会划伤WAFER和损坏针卡！！！9.点击START开始测试二、调整打点位置测试完后会自动进入打点界面，点击IMAGEDISPLAYCHANGE观察

5、打点位置，点击MARKERRE-ADJUST调整打点位置，将十字线移至合适位置后点击DATAIN即可，点击RETRY进行重复打点三、更换打点器油墨点击主界面下方的CARDCHANGE，点击CARDCHANGESTART，开启MAINBODY上盖，取下打点器，更换油墨后安装打点器，盖上MAINBODY上盖，点击CARDCHANGECARD，注意开启上盖时利用保护杆防止砸伤，盖上上盖后记得压下压杆