探针台技术要求.doc

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1、探针台技术要求基本配置：要求进口产品1.4寸探针台直径为4英寸的卡盘台，探针架四个2.卡盘本身需可作为电极（底电极）卡盘X-Y的移动范围2英寸*2英寸，精度:10um采用同轴控制卡盘可360度旋转，并带微调装置及锁死功能3.体视显微镜冃镜倍率20倍物镜变焦倍率：0.75倍、5倍总的放大倍率:15X-100X显微镜在Z轴方向的调节范围：大于50.8mmLED环形光源（可调节亮度）显色性好更佳（有利于看清样詁提高对比度）CCD接口4.探针座直线运动，三方向彳亍程：13mm-13mm-13mm精度：5微米真空吸附底座管状夹具/I.5m长线缆/三同轴（母）接

2、头Triaxial接头可匹配于KEITHLEY4200/agilentB1500等漏电精度:WIOOfA5.静音无油真空泵抽速不小于7升/分钟，可24小吋运转6.SONYOEM数字高速CCD可拍照及录像80万像素7.屏蔽箱（可以屏蔽外界杂讯和电磁波，提升测试的漏电精度）