1034XA-6自动探针台操作规范

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1、1034XA-6自动探针台操作规范作者：刘爱华版本号：1.01、设备名称：1034XA-6自动探针台型号：1034XA-6序号：图1设备所在位置（标示处）2、设备功能和规格指标：（1）设备功能：1034XA-6自动探针台是一种精密测试设备，用于芯片测试和芯片性能分档。其基本功能是跨接在晶圆片和测试仪之间，通过探针提供从晶圆片各压焊管脚到测试仪器之间的电学连接。该设备由探针台模块和电源模块组成，能实现快速、精确的X-Y二维定位，圆片对准采用半自动方式进行，对于失效芯片由打点器自动打点标记。探针台运行在程序

2、控制下自动进行，测试圆片最大为5”(直径127mm)。（2）规格指标：①探针台模块：长762mm、宽610mm②电源模块：长381mm、宽610mm③外接动力：110V/220VAC，50/60Hz④压缩空气：65~85psi⑤真空：45.7cm~63.5cmHg⑥X-Y定位系统运行范围：5”（直径127mm）⑦运行速度：每秒5”(127mm)，即每秒10000步⑧步进范围：英制0.0005”~4.995”(分辨率0.0005”)公制0.005mm~99.95mm(分辨率0.005mm)⑨打点器和探边器

3、：可控制6个打点器和1个探边器1/103、设备说明：显微镜高度调节旋钮探边器显微镜照明灯开关参数设置面板打点器上料位置探针台小显示屏载片吸盘CHUCK操作控制面板θ驱动手柄探针台模块（a）散热风扇主机电源电源模块(b)图2设备照片2/104、开机操作：（1）打开压缩空气阀（逆时针为开），自动探针台后面板的压力表指示应为4.5~5.8kg/cm2（65~85PSI）。（2）打开真空阀（逆时针为开）。（3）打开自动探针台总电源（即电源插座开关），确认散热风扇处于转动状态（见图2(b)）。（4）打开自动探针台

4、电源模块上的主机电源（见图2(b)，ON为开启）。（5）打开显微镜照明灯开关（见图2(a)）。（6）按一下接口面板（自动探针台后部）上的REALIGN（复位）按钮（见图3），用右手将载片吸盘（CHUCK）拉动到右下角的上料位置（见图2(a)），右手不要松开的同时左手按一下操作控制面板上的红色STOP键（见图7）。复位按钮图3REALIGN（复位）按钮注：按下REALIGN（复位）按钮后，载片吸盘松动，可以随意拉动按下红色STOP键后，载片吸盘被锁住，不能拉动5、测试操作：（1）测试准备工作：以下①~④步

5、必须由工艺工程师操作，其他人员禁止操作①确认待测圆片的电路类型与自动探针台上装好的探针卡是否吻合，若不吻合，需更换探针卡（见图4）。②若要求打点测试，应安装好打点器，并确认打点器内有打点液，打点液为红色粘稠液体，放置在打点器的针头中（见图4）。③安装好探边器（见图4）3/10打点器探边器打点器针头探针卡打点器图4探针卡、打点器和探边器④自动探针台测试时需要2个打点器（向左测试芯片时探针右边的打点器打点，向右测试芯片时探针左边的打点器打点），放置在探针左侧的打点器应连接至INKER6，放置在探针右侧的打点

6、器应连接至INKER5（见图5）。自动探针台有1个探边器，应连接至EDGESENSOR(见图5)。连接探边器连接探针右侧打点器连接探针左侧打点器图5打点器和探边器连接4/10⑤打开参数设置面板上盖（见图2(a)），设置并检查各项参数值是否正确：a)设置X、Y方向的距离单位，一般设置为公制METRIC（见图6）。b)设置X、Y方向的步进距离，设置公制时以微米为单位（见图6）。c)其它参数不要随意改动，应与图6一致，若出现偏差，立即通知工艺工程师。距离单位X方向步进距离Y方向步进距离打点器测试图6参数设置面

7、板（2）圆片上料（进片）：①将待测圆片放在载片吸盘（CHUCK）上，并基本放正。②向上扳动操作控制面板上的真空开关，指向VACUUM，吸住圆片（见图7）。③按一下操作控制面板上的红色STOP键，再按自动上料键START/ALIGN，载片吸盘自动上料（见图7）。④当载片吸盘移动到快接近待测位置时（载片吸盘边缘快接近探针时），再按一下红色STOP键，停止载片吸盘的移动，此操作为了避免探针高度过低划伤芯片或者撞坏探针。5/10手动退片键自动上料键操作手柄STOP键真空开关自动测试开始键探针扎针/抬针图7操作控

8、制面板注：LOAD：用于手动测试时圆片退片（自动测试时圆片自动退片，不需要按此键）ALIGN/START：用于圆片自动进片VACUUM/OFF：用于圆片吸真空（置于VACUUM使圆片吸真空，置于OFF使圆片断开真空）AUTOCYCLE/START：用于自动测试开始AUTOCYCLE/STOP：用于锁定载片吸盘和停止自动测试ZDRIVE：用于探针扎针和抬针（按一下扎针，再按一下抬针）（3）圆片对准：①操作控制面板上的操作手柄有三个档，顺时针旋