洁净室管理培训ppt课件.ppt

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1、洁净室管理培训课程表洁净厂房的设计与组成1洁净室人员卫生与个人职责2洁净室耗材3LCD制造过程中废品图示4洁净厂房的设计与组成洁净室之定义洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化原理净化过程：气流→初效空

2、气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃（细菌）→回风夹道新风、初效空气处理。洁净室的空气洁净度的三种状态：●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。洁净室控管之项目1.能除去空气中飘浮之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。3.温度和湿度之控制。4.压力之调节。5.有害气

3、体之排除。6.结构物与隔间之气密性。7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。洁净室控制微粒污染的主要途径：1.控制污染源，减少污染发生量；2.迅速有效地排除室内已经发生的污染；3.有效地阻止室外的污染侵入。（或有效地防止室内污染逸至室外）洁净室的分类按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。生物洁净室又可分

4、为：A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。洁净室的分类按气流分类(按气流可分为三类)①.非单向流洁净室（乱流、涡流）　　 ②.单向流洁净室（层流、活塞流）　　 ③.复合流洁净室（乱流、层流同在）非单向流洁净室(又称乱流式)乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA

5、)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级千级--十万级。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。非单向流洁净室的原理和特性1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度、不平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。当一股干净气流从送

6、风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释的效果当然越好。非单向流洁净室的原理就是稀释作用。2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，来实现洁净（乱流洁净室一般设计在千级以上至10万级净化级别）。3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换气次数决定净化级别（换气次数越多，净化级别越高）非单向流洁净室非单向流洁净

7、室原理主要特点：从来流到出流之间气流的流通断面是变化的。非层流方式单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)(1)气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室内截面下通过的洁净室。单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把室内污染排向回风道。(2)要想实现“活塞流”的作用，最重要的是高效过滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框，放置高效过滤器也要有支架，不可能百分之百的满布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定，垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是

8、局部单向流了。单向流洁净室单向流洁净室的分类1、垂直单向流洁净室顶棚满布高效过滤器送风，全地板格栅回风这是典型的垂直单向流洁净室，见图。优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净能力强，能够达到最高的洁净度级别。缺点是：顶棚结构较复杂，造价和维护费用高，高效过滤器堵漏较困难。垂直单向流洁净室垂直层流方式单向流洁净室2、水平单向流洁净室（1）送风墙满布高效过滤器水平送风，全墙面回风（2）“隧道”式单向流送风水平单向流洁净室水平层流方式单向流洁净室的原理1、在单向流洁净室内，干净气流不