《洁净室介绍》ppt课件

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1、什么是洁净室？洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。背景半导体工厂洁净室示意图5.2m5.2m4.8m5.5m1.310m(

2、33ft)10m(33ft)72m(236,2ft)0.0m22m(74ft)楼梯间回风Cl.100turbulent回风区工艺真空管路补充气体工艺原料供应主管路洗涤塔排风扇工艺原料主供应系统Level1LowerSubfabLevel2Level30.6m排风扇钢结构微环境（Class1,SMIF静压箱水泥覆盖防水保温镀锌浪板独立过滤风扇天花吊顶系统高架地板架子格钢结构特殊气体气柜无尘电梯人员操作区（Class100)洁净室的空调系统及其气流组织形式Cleanroom洁净室利用风管上送侧排为非单向流洁净室易控制大范围的空气流动利用风管和地板上送下回为混合流洁净室适合有较高洁净度和较大

3、热负荷要求的洁净室但必须确保架空地板高度Cleanroom洁净室Cleanroom洁净室利用FFU和地板上送下回易形成垂直单向流适合有较高洁净度要求的洁净室但必须确保架空地板高度直接利用空调箱侧送侧回不能形成同一方向气流，是乱流适合洁净度要求不高的洁净室洁净室的构造是怎样的？低中高设备费用循环风量较少运行成本最低对生产设备的发热、排热进行分别处理，可以降低运行成本生产设备的发热即为空调的热负荷，运行成本最高运行成本20－50次/h通道内200－400次/h，下降风速0.25-0.45m/s；其它区域100－200次/h400－500次/h、下降风速0.45m/s换气次数10,000～1

4、00,000级室内洁净度不高易受作业人员的活动而导致洁净度下降1～10,000级洁净通道内为高洁净度区域可以减少作业人员对洁净度的影响1～1000级室内全部为高洁净度区域易受作业人员的活动而导致洁净度下降洁净度洁净室气流方式流程图乱流方式部分层流方式全面垂直层流方式比较项目洁净室的洁净度是如何确定的？10000000001101001000100001000000.010.1110颗粒直径（μm）颗粒数量（个）Class1Class10Class100Class1000Class100000.51立方英尺为单位空间直径0.5微米的尘埃粒子为比较标准Class1：大于0.5微米的粒子少于

5、1个Class10：大于0.5微米的粒子少于10个Class100：大于0.5微米的粒子少于100个Class1000：大于0.5微米的粒子少于1000个Class10000：大于0.5微米的粒子少于10000个在太平洋中游弋的一条鲣鱼在某一次研讨会上，讲师说到净化厂房的净化度时，举了“在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在空气中的灰尘”，其寓意是要让大家亲身感觉到半导体洁净室方面的那种极其洁净的程度。那么，不妨以ISO1级的洁净度为例来计算一下就知道了。洁净度1级的上限是1m3空气中0.1μm粒子＜10个，即浮游粒子在空气中的体积比为5.24×1/1021。根据世界地理知识，可

6、查到太平洋的面积为16500万km2、平均深度为4282m、体积为70700万km3。因此，如果用与ISO1级洁净度相同的粒子比例进行换算，70700万km3的5.24×10-21仅3.7ℓ,3.7ℓ也就大约相当于一条鲣鱼的体积。如果，我们把自己置身于微米世界之中，我想大家就不难亲身感受到在世界第一大洋——“太平洋中游弋的一条鲣鱼”是一种什么样的感觉了吧。尘埃粒子直径的示意图尘埃粒直径（单位：μm）0.00010.0010.010.11.010100100010000香烟的烟颜料烟硅砂花粉植物孢子水泥人的头发重工业发出的粒子病毒细菌化学物质0.5μm洁净室的洁净度是如何维持的？Cool

7、ingCoil干式冷盘管Fab生产层Sub-Fab下技术层Chamber回风静压室Shaft回风井道FanFilterUnit风机过滤单元Cleanroom洁净室Chamber回风静压室AHU空调机Duct风管HEPAFilter高效过滤器——HighEfficiencyParticulateAirFilter密封条外框过滤器介质波浪型隔离体褶皱状滤纸外框热溶胶热溶胶（多处加工）外框滤纸ULPAFilter高效过滤器——UltraLowPene