VDMOS器件仿真设计实验-第一次实验报告.doc

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1、半导体功率器件与智能功率IC实验学生姓名：田瑞学号：3指导教师：乔明一、实验室名称：211楼803工作站二、实验项目名称：半导体功率器件与智能功率IC实验——VDMOS器件仿真设计实验三、实验原理：对于阈值电压的调节，可以改变氧化层厚度，氧化层厚度越大，栅对沟道的控制能力越弱，阈值电压越大。也可以增大沟道区掺杂浓度，浓度越大，沟道区越难反型，阈值电压越大。MEDICI的使用流程:器件结构构造网格构造器件求解输出MEDICI输入文件DeviceStructureSpecificationSolutionSpecificationInput/O

2、utput预先确定器件结构四、实验目的：通过实验，了解VDMOS器件的结构，掌握VDMOS器件的设计方法，熟悉MEDICI软件的使用。五、实验内容：完成一种600VVDMOS器件完整的设计仿真工作，其指标达到预定要求。其中，主要针对器件耐压、阈值电压、跨导、开态特性进行仿真优化，确定栅氧厚度、沟道浓度、栅长、漂移区掺杂、漂移区厚度等重要的浓度和结构参数。衬底n+换成p+，再仿真器件的转移特性和击穿特性，比较与VDMOS区别，并分析原因。VDMOS指标要求：BV>600VVT2~3VVG20Vmax六、实验器材（设备、元器件）：MEDICI软

3、件七、实验步骤：titleVDMOSassignname=ndn.val=1e14assignname=pwelln.val=2e18assignname=dpwelln.val=1.2assignname=tepin.val=35assignname=ldn.val=6meshsmooth=1x.meshwidth=@ldh1=0.10y.meshn=1L=-0.1y.meshn=3L=-0.017y.meshn=4L=0y.meshdepth=@dpwellh1=0.05y.meshdepth=@tepi-@dpwellh1=0.05h

4、2=0.05h3=1y.meshdepth=0.5h1=0.05y.meshdepth=0.1h1=0.05regionname=sisiliconregionname=sioy.max=0oxideelectrodname=gatex.min=1x.max=@ld-1electrodname=sourcex.max=0.6y.max=0electrodname=sourcex.min=@ld-0.6y.max=0electrodname=drainy.min=@tepi+0.5$$$$$ndrift$$$$$$$profileregion

5、=sin-typen.peak=@nduniform$$$$$p-well$$$$profileregion=sip-typen.peak=@pwell+@ndxy.ratio=0.4x.min=0x.max=1.5y.junction=@dpwellprofileregion=sip-typen.peak=@pwell+@ndxy.ratio=0.4x.min=@ld-1.5x.max=@ldy.junction=@dpwell$$$$n+/p+source$$$$profileregion=sip-typen.peak=1e20xy.r

6、atio=0.4x.min=0x.max=0.4y.junction=0.4profileregion=sin-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=0.5x.max=1y.junction=0.2profileregion=sip-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=@ld-0.4x.max=@ldy.junction=0.4profileregion=sin-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=@ld-1x.max=@ld-0.5y.junction

7、=0.2$$$drain$$$profileregion=sin-typen.peak=1e20uniformx.min=0y.min=@tepiy.max=@tepi+0.5regridignore=siodopinglogarithratio=1smooth=1cos.angle=0.8$$$$gatematerial$$$$$contactname=gaten.polysisaveout.f=vdmos.mesh$$$$plot$$$$plot.2dgridfillscaletitle="theorignalgird"plot.2db

8、oundaryscalejunctionfilltitle="thejunctionprofiles"plot.1ddopingy.start=0.01y.end=0.01tit