LDMOS器件仿真设计实验.doc

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1、电子科技大学实验报告学生姓名：于全东学号：5指导教师：乔明一、实验室名称：211楼803二、实验项目名称：半导体功率器件与智能功率IC实验——LDMOS器件仿真设计实验三、实验原理：利用medici仿真实验四、实验目的：通过实验，了解LDMOS器件的结构，掌握LDMOS器件的设计方法，熟悉MEDICI软件的使用。五、实验内容：完成一种700VRESURFLDMOS器件完整的设计仿真工作，其指标达到预定要求。其中，主要针对器件耐压、阈值电压、跨导、开态特性进行仿真优化，确定栅氧厚度、沟道浓度、栅长、漂移区掺杂、漂移区厚度等重要的浓度和结构参数。通过改

2、变漂移区浓度，获得RESURF器件的哑铃型表面电场分布。LDMOS指标要求：BV>700V,VT1~2V,VG7Vmax六、实验器材（设备、元器件）：MEDICI软件七、实验步骤：LDMOS结构定义：titleldmosassignname=ndn.val=7e14assignname=pwelln.val=8e16assignname=dpwelln.val=1.2assignname=tepin.val=13assignname=ldn.val=60assignname=dsubn.val=15meshsmooth=1x.meshwidth=@

3、ldh1=1.2y.meshn=1L=-0.35y.meshn=6L=-0.02y.meshn=7l=0y.meshdepth=0.2h1=0.2y.meshdepth=@dpwell-0.2h1=0.2y.meshdepth=@tepi-@dpwellh1=0.1h2=0.2y.meshdepth=@dsubh1=0.2h2=0.4h3=2regionname=siy.max=@tepisiliconregionname=suby.min=@tepisiliconregionname=sioy.max=0oxideelectrodname=gat

4、ex.min=1.9x.max=3.5y.min=-0.35y.max=-0.02electrodname=sourcex.max=1.3y.max=0electrodname=drainx.min=@ld-0.8y.max=0electrodname=subbottom$$$$$ndrift$$$$$$$profileregion=sin-typen.peak=@nduniform$$$$$n-buffer$$$$profileregion=sin-typen.peak=5e16xy.ratio=0.6x.min=@ld-2y.junction=

5、@dpwell$$$$$p-well$$$$profileregion=sip-typen.peak=@pwell+@ndxy.ratio=0.6x.min=0x.max=2.6y.junction=@dpwellprofileregion=sip-typen.peak=1e20x.min=0x.max=2.6y.min=@dpwell-0.6y.max=@dpwell-0.1uniform$$$$n+/p+source$$$$profileregion=sip-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=0x.max=1y.

6、junction=0.2profileregion=sin-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=1x.max=2y.junction=0.2$$$drain$$$profileregion=sin-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=@ld-1y.junction=0.2$$$$$psub$$$$$$$profileregion=subp-typen.peak=5e14uniformregridignore=siodopinglogarithratio=1smooth=1cos.angle

7、=0.8$$$$gatematerial$$$$$contactname=gaten.polysisaveout.f=ldmos.mesh$$$$plot$$$$plot.2dgridfillscaletitle="theorignalgird"plot.2dboundaryscalejunctionfilltitle="thejunctionprofiles"plot.1ddopingy.start=0.01y.end=0.01title="surfacedopinglog"y.logplot.1ddopingy.start=0.01y.end=

8、0.01title="surfacedoping"plot.1ddopingy.start=3y.end=3title="